2009 年度研究成果報告書

超高分解能ミリ波マイクロスコピーの開発

研究課題

研究課題/領域番号	19360158
研究種目	基盤研究(B)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	電子デバイス・電子機器
研究機関	富山大学
研究代表者	莅戸立夫富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授 (00261149)
研究分担者	工藤博幸筑波大学, 大学院・システム情報工学研究科, 教授 (60221933) 佐々木和男富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 教授 (60042826)
研究期間 (年度)	2007 – 2009
キーワード	ミリ波 / マイクロスコピー / 走査型近接場顕微鏡技術 / プローブ / 高分解能 / 高感度 / 画像化
研究概要	超高分解能画像計測技術の開発を、電波の高周波帯に位置するミリ波帯で実施した。本研究では、従来ミリ波帯で達成されている空間分解能を格段に改善し得る高感度画像計測用センサー(プローブ)を開発することにより、観測波長の1000分の1以下、ミクロンオーダーでの画像取得を初めて可能とした。本研究の成果はミリ波帯における超高分解能画像計測技術の実用化に寄与するところが大であり、未だ十分でないミリ波帯電磁波の有効利用を促進し得るものと考えられる。

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