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2008 年度 実績報告書

フレキシブル薄膜ガラス上の立体ゲートpoly-Si TFTの連続積層化技術

研究課題

研究課題/領域番号 19360165
研究機関東北学院大学

研究代表者

原 明人  東北学院大学, 工学部, 教授 (20417398)

キーワード多結晶シリコン / 薄膜トランジスタ / ダブルゲート
研究概要

前年度に実現した半導体励起固体CWレーザ結晶化技術を使い、2008年度前半においてn-chおよびp-chの自己整合ダブルゲートpoly-Si TFTのプロセス技術を確立した。2008年度後半において、石英ガラス上に自己整合ダブルゲートpoly-Si TFTの試作を行った。この際、通常のトップゲートpoly-Si TFTを同時に作成し両者の性能比較を行った。その結果、ダブルゲートpoly-Si TFTはトップゲートpoly-Si TFTの約2倍の高い性能を実現していることを確認した。これらの成果については2009年度に開催される査読付国際会議・論文にて報告していく方針である。2009年度は2008年度に確立したデバイス技術をフレキシブルガラス上に展開する。
さらにモノリシック3次元化集積化に向け、低温でTFT形成が可能なトップゲート水素化微結晶シリコンTFTに注目し、そのプロセス開発およびデバイス試作を進めた。
また、2007年度に行った成果について査読付国際会議での報告および論文執筆を進めた。特に、査読付国際会議2008International Display Workshopsにおいてoutstanding poster paper awardを受賞し国際的な評価を得た。さらに、(財)みやぎ産業振興機構主催産学官連携フェアみやぎ2008、学都仙台コンソーシアムサテライトキャンパス、(財)みやぎ工業会主催産学連携推進懇談会において発表を行い、研究成果を市民および産業界にフィードバックした。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2008

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] An experimental approach to form selective single-crystalline silicon on nonalkalline glass using self-aligned heat reservoirs and continuous wave green-laser lateral crystallization2008

    • 著者名/発表者名
      Akito Hara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 516

      ページ: 7350-7353

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Aligned Top-Gate Nanocrystalline Silicon Thin Film Transistors with Source/Drain Regions Activated by Diode-Pumped Continuous-Wave Green laser2008

    • 著者名/発表者名
      W. Sato, A. Hara, S. Kurauch, Y. Doi, M. Kobata, K. Kitahara
    • 雑誌名

      Extended Abstract of the 2008 Inter. Conf. of SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS なし

      ページ: 176-177

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dehydrogenation and Lateral Crystallization of Nanocrystalline Silicon Film Using Solid-state Continuous-Wave Green Laser2008

    • 著者名/発表者名
      T. Sato, W. Umezu, K. Yamamoto, A. Hara, K. Kitahara
    • 雑誌名

      Proceeding of The 15^<th> International Display Workshops なし

      ページ: 635-638

    • 査読あり
  • [学会発表] 固体CWグリーンレーザを利用した微結晶シリコンの脱水素およびラテラル結晶化2008

    • 著者名/発表者名
      原明人、梅津渉、佐藤旦、山本健一、北原邦紀
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-02
  • [産業財産権] 半導体装置2008

    • 発明者名
      原明人
    • 権利者名
      原明人
    • 産業財産権番号
      特許・特願2008-225274
    • 出願年月日
      2008-08-06

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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