2009 年度研究成果報告書

低温気相成長したマルチフェロイック薄膜の複合構造制御による高機能化

研究課題

研究課題/領域番号	19360292
研究種目	基盤研究(B)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	無機材料・物性
研究機関	東北大学
研究代表者	増本博東北大学, 学際科学国際高等研究センター, 教授 (50209459)
研究分担者	後藤孝東北大学, 金属材料研究所, 教授 (60125549) 大沼繁弘 (財)電気磁気材料研究所, 電磁気材料グループ, 主任研究員 (50142633) 才田淳治東北大学, 学際科学国際高等研究センター, 准教授 (20359540) 木村禎一東北大学, 金属材料研究所, 助教 (10333882) 塗溶東北大学, 金属材料研究所, 助教 (80396506) 堀田幹則東北大学, 金属材料研究所, 助教 (30431604)
研究期間 (年度)	2007 – 2009
キーワード	酸化イットリウム鉄 / コバルト-酸化ニオブ / ルテニウム酸化物 / 誘電率 / 磁性 / 電気電導率 / 薄膜
研究概要	次期デバイスのさらなる高集積化、高機能複合化、低エネルギー・省エネルギー化へ向けて、複数の機能を同時に発現する複合機能材料の開発が必要とされてきている。本研究では、化学気相析出法やRFスパッタ法を用いた複合構造制御により、Y-Fe-O系薄膜およびCo-Nb_2O_5系複合膜などの磁性-誘電性の両特性を兼ね備えた複機能材料薄膜の作製とIr系およびRu系新規酸化物電極薄膜の作製に成功した。

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