"サイズ効果フリー"誘電体の誘電特性におよぼす残留歪と温度の影響

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19360294
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 無機材料・物性
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 舟窪 浩 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 准教授 (90219080)
• 研究分担者: 内田 寛 上智大学, 理工学部, 助教 (60327880)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: サイズ効果 / 誘電体薄膜 / 残留歪み / 温度依存性

研究概要

サイズ効果フリー特性を有するSrBi_4Ti_4O_<15>について、誘電特性に及ぼす残留歪と温度の影響を調べた。結晶方位の異なる膜を作製して評価したところ、誘電率の温度依存性には結晶方位依存性が存在し、(001)配向が最も小さな温度依存性を示すことが明らかになった。一方基板からの熱歪の異なる基板上に作製したc軸1軸配向膜でも、比誘電率の温度依存性は小さいことが明らかになった。

研究成果

• [雑誌論文] Effect of the Annealing Temperature on Dielectric Properties of Bi_<1.5>Zn_<1.0>Nb_<1.5>O_7 Films Prepared by MOCVD (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo, Shingo Okaura, Muneyasu Suzuki, Hiroshi Uchida, and Seiichiro Koda
  • 雑誌名: Key Eng. Mater 388 ページ: 175-178
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of conductive oxide polycrystalline BaPbO_3 films by chemical solution deposition and their electrical resistivity (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Naganuma, Kayoko Yamada, Hiromi Shima, Kensuke Akiyama, Takashi Iijima, Hiroshi Funakubo, and Soichiro Okamura
  • 雑誌名: J Electroceram 22 ページ: 78-81
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low strain sensitivity of the dielectric property of pryrochlore Bi-Zn-Nb-O films (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo, Shingo Okaura, Muneyasu Suzuki, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda, Rikyu Ikariyama, and Tomoaki Yamada
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 92 ページ: 182901-1-182901-3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Single domain epitaxial growth of yttria stabilized zirconia on Si(111)substrate (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Kaneko, K. Akiyama, T. Ito, Y. Hirabayashi, S. Ohya, T. Oguni, Y. Sawada, H. Funakubo, and M. Yoshimoto
  • 雑誌名: Ceram. Inter 34(4) ページ: 1047-1050
  • 査読あり
• [雑誌論文] Degradation free Dielectric Property Using Bismuth Layer structure Dielectrics Having Natural Superlattice Structure (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo
  • 雑誌名: J. Ceram. Soc. Jpn 116(12) ページ: De1249-1254
  • 査読あり
• [雑誌論文] Cubic on cubic growth of a MgO(001) thin film prepared on Si(001) substrate at low ambient pressure by the sputtering method (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Kaneko, H. Funakubo, T. Kadowaki, Y. Hirabayashi, and K. Akiyama
  • 雑誌名: EPL 81 ページ: 46001-1-5
  • 査読あり
• [雑誌論文] Temperature Dependency of Dielectric Properties in Epitaxially Grown SrBi_4Ti_4O_<15> Films with Different Orientation (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo, Muneyasu Suzuki, Kenji Takahashi, and Takayuki Watanabe
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 368-372 ページ: 1811-1813
  • 査読あり
• [雑誌論文] ビスマス層状誘電体のナノレイヤー積層方向に見られる新規誘電特性 (2007)
  • 著者名/発表者名: 舟窪浩
  • 雑誌名: (社)日本セラミックス協会 42 ページ: 169-174
• [学会発表] Si基板上における(001)高配向性(Ca, Sr)Bi_4Ti_4O_<15>薄膜の作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 水谷佑樹, 内田寛, 舟窪浩, 幸田清一郎
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2009年度年会
  • 発表場所: 東京理科大学野田キャンパス
  • 年月日: 2009-03-16
• [学会発表] 化学溶液法による(001)配向(Ca, Sr)Bi_4Ti_4O_<15>薄膜の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 水谷佑樹, 内田寛, 舟窪浩, 幸田清一郎
  • 学会等名: 2008年度秋季第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] Film thickness dependence of the dielectric thin films in c axis oriented bismuth layer perovskite materials (2007)
  • 著者名/発表者名: H. Funakubo
  • 学会等名: The Fifth China International Conference on High Performance Ceramics(CICC-5)
  • 発表場所: Vaya Huatian International Hotel, Changsha, China
  • 年月日: 20070510-13
• [学会発表] Degradation Free Characteristics of c axis Oriented Bismuth Layer Structured Dielectrics (2007)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Funakubo, Kenji Takahashi, Muneyasu Suzuki, Takashi Kojima, Takayuki Watanabe, Kazumi Kato, Yukio Sakashita, Kazushi Sumitani, and Osami Sakata
  • 学会等名: International Symposium on Integrated Ferroelectrics(ISIF 2007)
  • 発表場所: Bordeaux, France
  • 年月日: 20070508-11
• [備考]
  • URL: http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm