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2009 年度 実績報告書

応力制御成膜技術による低温動作酸化物イオン導電体の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19360295
研究機関東京工業大学

研究代表者

篠崎 和夫  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (00196388)

研究分担者 田中 順三  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (10343831)
キーワード酸化物イオン導電体 / エピタキシャル薄膜 / 酸素センサー / Si基板 / 酸素濃淡電池 / PLD装置 / 反応性イオンエッチング
研究概要

酸化物イオン導電性固体電解質の動作温度低下と内部抵抗低下を従来とは全く異なったアプローチで実現しようとするものである。具体的には、酸化物イオン導電体をSi基板等の熱膨張係数が異なる基板の上に製膜し、薄膜に応力を印加することで、結晶格子に歪みを与え、バルクセラミックスでは、得られないイオン導電性の実現を試みる。これにより、従来、バルクセラミックスで行われている、新材料探索とは全く異なった形で、イオン導電を制御することで、これまでより著しく低温で動作する酸化物イオン導電膜の実現を目的とする。
Si基板上にエピタキシャル成長したY_2O_3安定化ZrO_2(YSZ)酸素濃淡電池セルを用いて、280-320℃という低温で、理論起電力を得ることに成功した。この原因について、従来の焼結体を薄くするアプローチでは、数十ミクロンが膜厚の限界であったものを、固体電解質を数百nmに薄膜化すること自体で酸化物イオン伝導の低抵抗化することと、基板による薄膜への応力印加の影響の両面が重要であることを明らかになった。薄膜化と応力印加により、イオン伝導の活性化エネルギーが低減するものと考察しており、YSZとGd_2O_3を添加したCeO_2とでは、応力印加のメカニズムが異なることを明らかにしている。低温動作可能な電極として酸化物電極の検討を行った。Si基板上に形成したYSZエピタキシャル薄膜の酸化物イオン拡散の活性化エネルギーの薄膜応力依存性の最適条件をまとめた。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] Oxygen-Concentration-Dependent Electrical Resistances of SrTiO_3-Based Thin Films2010

    • 著者名/発表者名
      Toru Hara, Takashi Ishiguro, Kazuo Shinozaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 49

      ページ: 041104-1-5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanostructure and strain analysis of CeO_2/YSZ strained superlattice (http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TXF-4YF5707-2&_user=126251&_coverDate=02%2F20%2F2010&_alid=1345759502&_rdoc=1&_fmt=high&_orig=search&_cdi=5589&_sort=r&_docanchor=&view=c&_ct=5&_acct=C000010218&_version=1&_urlVersion=0&_userid=126251&md5=aae3f5a7dfa6214079ce48865c000eac)2010

    • 著者名/発表者名
      Takanori Kiguchi, Toyohiko J.Konno, Naoki Wakiya, Hitoshi Morioka, Keisuke Saito, Kazuo Shinozaki
    • 雑誌名

      Materials Science and Engineering B (On-line公開)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Doping effect of Dy on leakage current and oxygen sensing property of SrTiO_3 thin film prepared by PLD2009

    • 著者名/発表者名
      Naoki Wakiya, Yuusuke Kimura, Naonori Sakamoto, Desheng Fu, Toru Hara, Takashi Ishiguro, Takanori Kiguchi, Kazuo Shinozaki, Hisao Suzuki
    • 雑誌名

      J.Ceram.Soc.Japan 117

      ページ: 1004-1008

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oxygen sensitivity of perovskite-type dielectric thin films2009

    • 著者名/発表者名
      Toru Hara, Takashi Ishiguro, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki
    • 雑誌名

      Materials Science and Engineering B 161

      ページ: 142-145

    • 査読あり
  • [学会発表] Possibility of NO_x Sensing by using Titania Doped Ferrite Epitaxial Thin Film2009

    • 著者名/発表者名
      Kazuo Shinozaki, Yusuke Inaba, Toru Hara, Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Jeffrey S.Cross, Osamu Sakurai
    • 学会等名
      The 26th International Japan-Korea Seminar on Ceramics
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2009-11-24

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

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