| 研究概要 |
本研究は,放電加工環境を適宜選択して,スリット中心追跡制御方式による微小工具あるいは機能性微小部品の実現を目的とする.このためにピエゾ駆動を用いた高応答,高分解能型の放電微細加工装置を開発する.
平成19年度は以下の3項目を実施した.
I)既設試作機械による加工限界の追及既に製作している一次試作機を用いた液中,気中加工実験を行ない,放電頻度と細線化状態との関係を求め,加工限界を探った.(1)2色法による放電発光計測を用いて放電頻度の推定を行い,液中放電加工における加工条件の最適化をはかった。特に半導体を用いた極問静電容量を分割した結果微細面が実現した.(2)微細軸加工材料の検討:加工対象物として,従来の焼結体に加え,熱処理材と固溶体を検討した.特に高融点材料の周辺を低融点材料で被覆した複合ピーリング電極を作成しその効果を確認した.(3)減圧雰囲気中での微細放電加工の実施:3重点の分かっている材料に対して真空中放電加工を実施して加工の安定性と表面状態を調査した.
II)高応答,高精度加工のためのピエゾ駆動微細加工システムの開発 高応答,高分解能加工の実現を目指して,ピエゾチューブによって構成される新たなピエゾ駆動マイクロ加工システムの構築を図った。特に加工物と電極双方の形状計測を狙って,2方向プローブを有するSTMあるいはAFM用のカンチレバーを製作した.
III)マイクロピンハンドリング マイクロ工具の安定なハンドリングを目指して,ペルチェ素子駆動のバイメタル把持機構を製作した.
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