超熱分子ビームによる次世代ナノファブリケーションの実空間"その場"観察

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19360336
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 独立行政法人日本原子力研究開発機構
• 研究代表者: 吉越 章隆 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (00283490)
• 研究分担者: 寺岡 有殿 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究主幹 (10343922)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: 超熱分子ビーム / ナノプロセス / 実空間"その場"観察 / 吸着 / 反応選択性 / プローブ顕微鏡 / 表面反応ダイナミクス

研究概要

超熱分子ビームによる次世代ナノプロセスの走査型プローブ顕微鏡を用いた実空間"その場"観察法を開発した.放射光光電子分光と相補的に利用することで,超熱分子ビームによる表面反応選択性の空間情報を検証することを試みた.放射光ビームラインにおいてSi(111)-7×7表面等の原子像観察に成功するとともに,Si(111)-7×7表面の室温酸化反応における酸素分子の並進運動エネルギーに依存した表面形状の違いを見出した.

研究成果

• [雑誌論文] Si-doping for the protection of hydrogenated diamond-like carbon films in a simulated atomic oxygen enviroment in low earth orbit (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Yokota, M. Tagawa, A. Kitamura, K. Matsumoto, A. Yoshigoe, Y. Teraoka, M. Belin
  • 雑誌名: Trans. JSASS Space Tech. Japan Vol.7 ページ: 37
  • 査読あり
• [雑誌論文] A diamond-like carbon film by hyperthermal atomic oxygen exposures (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Yokota, M. Tagawa, A. Kitamura, K. Matsumoto, A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 雑誌名: Appl. Surf. Sci. Vol.255 ページ: 6710
  • 査読あり
• [雑誌論文] Atomic layer fluorination of highly oriented pyrolytic grafite during hyperthermal atomic fluorine beam (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Tagawa, K. Yokota, K. Maeda, A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 雑誌名: Appl. Phys. Express Vol.2 ページ: 066002-1
  • 査読あり
• [雑誌論文] Kinetics of oxygen adsorption and initial oxidation on Cu(110) by hyperthermal oxygen molecular beams (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Moritani, M. Okada, Y. Teraoka, A. Yoshigoe, T. Kasai
  • 雑誌名: J. Phys. Chem. A Vol.113 ページ: 15217
  • 査読あり
• [雑誌論文] 放射光リアルタイム光電子分光で観たSi(111)表面の酸化過程 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆、寺岡有殿
  • 雑誌名: The papers of Technical Meeting on Optical and Quantum Devices, IEE Japan OQD-09-56 ページ: 67
• [雑誌論文] Initial oxidation of Si(100) as studied by real-time synchrotron-radiation x-ray photoemission spectroscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Suemitsu, Y. Yamamoto, H. Togashi, Y. Enta, A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. and Tech. B27 ページ: 549
  • 査読あり
• [雑誌論文] Synchrotron radiation photoemission spectroscopy for native oxide layer on Vanadium and VCrTa (2009)
  • 著者名/発表者名: Y. Teraoka, A. Yoshigoe, J.R. Harries
  • 雑誌名: J. Surf. Anal. Vol.15 ページ: 303
  • 査読あり
• [雑誌論文] Al(111)表面における超音速N2ビームによる極薄AlN膜形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 寺岡有殿, 吉越章隆
  • 雑誌名: 電子学会論文誌C電子・情報・システム部門誌 Vol.129 ページ: 294
  • 査読あり
• [雑誌論文] Cu3Au表面自然酸化のシンクロトロン放射光を用いた光電子分光研究 (2009)
  • 著者名/発表者名: 宗和誠, 山崎大地, 岡田美智雄, 吉越章隆, 寺岡有殿, 笠井俊夫
  • 雑誌名: 電子学会論文誌C電子・情報・システム部門誌 Vol.129 ページ: 229
  • 査読あり
• [雑誌論文] High resolution X-ray photoelectron spectroscopy study on initial oxidation of 4H-SiC(0001)-(√3x√3)R30° surface (2009)
  • 著者名/発表者名: S. Takahashi, S. Hatta, A. Yoshigoe, Y. Teraoka, T. Aruga
  • 雑誌名: Surf. Sci. Vol.603 ページ: 211
  • 査読あり
• [雑誌論文] Hydrogen adsorption on single-walled carbon nanotubes studied by core-level photoelectron spectroscopy and Raman spectroscopy (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Tokura, F. Maeda, Y. Teraoka, A. Yoshigoe, D. Takagi, Y. Homma, Y. Watanabe, Y. Kobayashi
  • 雑誌名: Carbon Vol.46 ページ: 1903
  • 査読あり
• [雑誌論文] SR-XPS and STM observa-tion of metastable chemisorption state of oxygen on Si(110)-16×2 Surface (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Yamamoto, H. Togashi, A. Kato, Y. Takahashi, A. Konno, Y. Teraoka, A. Yoshigoe, H. Asaoka, M. Suemitsu
  • 雑誌名: Appl. Surf. Sci. Vol.254 ページ: 6232
  • 査読あり
• [雑誌論文] Reconstruction of Cu (111) induced by a hyperthermal oxygen molecular beam (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Moritani, M. Okada, Y. Teraoka, A. Yoshigoe, T. Kasai
  • 雑誌名: J. Phys. Chem. C. Vol.112(2) ページ: 8662
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mechanisms of Concurrent SiO Desorption with Oxide Layer Formation at Si(001) Surface (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Teraoka, A. Yoshigoe, K. Moritani
  • 雑誌名: Electrical Engineering in Japan Vol.164 ページ: 60
  • 査読あり
• [雑誌論文] Si(110)面上熱酸化膜形成におけるSiサブオキサイド時間発展のXPSリアルタイム測定 (2008)
  • 著者名/発表者名: 山本喜久, 富樫秀晃, 今野篤史, 松本光正, 加藤篤, 斎藤英司, 末光真希, 寺岡有殿, 吉越章隆
  • 雑誌名: 信学技報 Vol.53 ページ: 65
  • 査読あり
• [雑誌論文] SR-PES and STM observa-tion of metastable chemisorption state of oxygen on Si(110)-16×2 surface (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Yamamoto, H. Togashi, A. Kato, Y. Takahashi, A. Konno, Y. Teraoka, A. Yoshigoe, H. Asaoka, M. Suemitsu
  • 雑誌名: Appl. Surf. Sci. Vol.254 ページ: 6232
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vibrationally-assisted dissociative adsorption of oxygen on Ru(0001)-p(2×1)-O (2007)
  • 著者名/発表者名: S. Takahashi, Y. Fujimoto, Y. Teraoka, A. Yoshigoe, H. Okuyama, T. Aruga
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. Vol46,No.4B ページ: 1888
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effects of vibrational and rotational exciation on the dissociative adsorption of O2 on Cu surfaces (2007)
  • 著者名/発表者名: K. Moritani, M. Tsuda, Y. Teraoka, M. Okada, A. Yoshigoe, T. Fukuyama, T. Kasai, H. Kasai
  • 雑誌名: J. Phys. Chem. Vol.111 ページ: 9961
  • 査読あり
• [雑誌論文] Direct insertion of oxygen atoms into the backbonds of subsurface Si atoms using translational energies of oxygen atom beams (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Tagawa, K. Yokota, C. Sogo, A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. Vol.91 ページ: 033504
  • 査読あり
• [雑誌論文] Real-time observation of initial thermal oxidation on Si(110)-16×2 surfaces by O 1s photoemission spectroscopy using synchrotron radiation (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Suemitsu, A. Kato, H. Togashi, A. Konno, Y. Yamamoto, Y. Teraoka, A. Yoshigoe, Y. Narita, Y. Enta
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. Vol.46,No4B ページ: 1888
  • 査読あり
• [雑誌論文] Si(001) surface layer-by-layer oxidation studied by real-time photoelectron spectroscopy using synchrotron radiation (2007)
  • 著者名/発表者名: S. Ogawa, A. Yoshigoe, S. Ishizuka, Y. Teraoka, Y. Takakuwa
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. Vol.46,No.5B ページ: 3244
  • 査読あり
• [雑誌論文] Si(001)表面における酸化膜形成過程とSiO脱離の共存機構 (2007)
  • 著者名/発表者名: 寺岡有殿, 吉越章隆, 盛谷浩右
  • 雑誌名: 電気学会論文誌C Vol.127 ページ: 133
  • 査読あり
• [雑誌論文] 超音速酸素分子ビームによる並進運動エネルギー誘起Ti(0001)表面酸化反応 (2007)
  • 著者名/発表者名: 小川修一, 高桑雄二, 石塚眞治, 吉越章隆, 寺岡有殿, 盛谷浩右, 水野善之
  • 雑誌名: 電気学会論文誌C Vol.127 ページ: 140
  • 査読あり
• [雑誌論文] XPS and STM studies on initial oxidation of Si(110)-16×2
  • 著者名/発表者名: M. Suemitsu, H. Togashi, A. Kato, Y. Takahashi, A. Konno, Y. Yamamoto, Y. Teraoka, A. Yoshigoe, H. Asaoka
  • 雑誌名: MRS the Symposium H Proceedings
• [学会発表] 酸素分子線照射量に依存したSi(111)表面の形状変化のSTM観察―並進運動エネルギーを2. 2 eVとした場合― (2010)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学(湘南キャンパス)
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] 超音速酸素分子線によるSi(111)-7×7表面の室温酸化後のSTM観察 (2010)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学(湘南キャンパス)
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] 表面反応分析装置への走査型プローブ顕微鏡の導入-実空間"その場“観察の実現- (2010)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: イーグレ姫路(姫路)
  • 年月日: 2010-01-06
• [学会発表] Si(111)-7×7表面の室温酸化の放射光XPS、LEEDおよびSTMによるリアルタイム観察 (2010)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: イーグレ姫路(姫路)
  • 年月日: 2010-01-06
• [学会発表] 酸素分子の並進運動エネルギーによるSi(111)-7×7表面の酸化反応の促進 (2010)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: イーグレ姫路(姫路)
  • 年月日: 2010-01-06
• [学会発表] Enhancement of O2 adsorption on Si(111)-7×7 by translational kinetic energy of O2 revealed by real-time XPS using synchrotron radiation (2009)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka, J.R. Harries
  • 学会等名: The 5th International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-5)
  • 発表場所: Waseda University
  • 年月日: 2009-11-09
• [学会発表] Photoemission Analyses on Oxides at Single Crystal Vanadium Surfaces (2009)
  • 著者名/発表者名: Y. Teraoka, A. Yoshigoe, J.R. Harries
  • 学会等名: The 5th International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-5)
  • 発表場所: Waseda University
  • 年月日: 2009-11-09
• [学会発表] SPring-8 BL23SUの表面化学反応分析装置(SUREAC2000)における実空間“その場"観察の実現 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第50回真空に関する連合講演会
  • 発表場所: 学習院大学, 東京
  • 年月日: 2009-11-04
• [学会発表] Si(111)-7×7表面酸化の促進と酸素分子の並進運動エネルギーの関係 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第29回表面科学学術講演会
  • 発表場所: タワーホール舟堀, 東京
  • 年月日: 2009-10-27
• [学会発表] 放射光表面化学反応分析装置に導入した走査型プローブ顕微鏡 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第29回表面科学学術講演会
  • 発表場所: タワーホール舟堀, 東京
  • 年月日: 2009-10-27
• [学会発表] Real-time observation of oxidation of Si(111)-7×7 surface at 300 K by using synchrotron radiation XPS, LEED and STM (2009)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: International Workshop on Electronic Spectroscopy for Gas-phase molecules and solid surfaces (IWES2009), ICESS 11 satellite workshop hosted by IMRAM
  • 発表場所: Tohoku University, Hotel Taikanso, Matsushima, Sendai
  • 年月日: 2009-10-12
• [学会発表] Si(111)-7×7表面の室温酸化のLEED、STMおよび放射光XPSによるリアルタイム観察 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学五福キャンパス
  • 年月日: 2009-09-08
• [学会発表] Role of translational kinetic energy of O2 in adsorption process on Si(111)-7×7 surface at room temperature (2009)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: European Conference on Surface Science 26 (ECOSS 26)
  • 発表場所: Parma, Italy
  • 年月日: 2009-08-30
• [学会発表] 放射光リアルタイム光電子分光で観たSi(111)表面の酸化過程 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 電気学会光・量子デバイス研究会
  • 発表場所: 神戸大学(神戸市)
  • 年月日: 2009-05-07
• [学会発表] Si(111)-7×7への室温での酸素吸着過程に及ぼす酸素分子の並進運動エネルギーの役割 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 2009春季第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-30
• [学会発表] SPring-8 BL23SUの表面化学反応分析実験ステーションにおける走査型プローブ顕微鏡 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆、寺岡有殿
  • 学会等名: 2009春季第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-30
• [学会発表] Synchrotron radiation photoemission spectroscopy for native oxide layer on Vanadium and VCrTa (2009)
  • 著者名/発表者名: Y. Teraoka, A. Yoshigoe, J.R. Harries
  • 学会等名: The International Workshop for Surface Analysis and Standardization'09 (ISAS-09)
  • 発表場所: Okinawa Convention Center
  • 年月日: 2009-03-15
• [学会発表] 酸素分子の並進運動エネルギーによるSi(111)-7×7表面への吸着促進機構の放射光リアルタイム光電子分光観察 (2009)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第22回放射光学会年会・合同シンポジウム
  • 発表場所: 東大本郷キャンパス
  • 年月日: 2009-01-09
• [学会発表] Time-resolved observation of trapping-mediated O2 adsorption on Si(111)-7×7 by synchrotron radiation photoelectron spectroscopy (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: 2008 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices Science and Technology (IWDTF2008)
  • 発表場所: Tokyo Institute of Technology
  • 年月日: 2008-11-05
• [学会発表] Si(111)-7×7への前駆的吸着状態を経由した酸素分子の吸着過程のリアルタイム放射光光電子分光観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 2008年(平成20年)秋季第69回応用物理学学術講演会
  • 発表場所: 中部大学(春日井市)
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] 直接吸着機構による酸素分子のSi(111)-7×7への吸着促進 (2008)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 2008年(平成20年)秋季第69回応用物理学学術講演会
  • 発表場所: 中部大学(春日井市)
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] Real-time observation of Si(111)-7×7 by using synchrotron radiation photoelectron spectroscopy (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: 4th International Workshop on reactions involving oxidation & hydrogen-Global COE Forum 2008-
  • 発表場所: Osaka University
  • 年月日: 2008-08-22
• [学会発表] Real-time monitoring of rest atoms during oxidation at 300 K of Si(111)-7×7 using synchrotron radiation photoelectron spectroscopy (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: 25th European Conference on Surface Science (ECOSS-25)
  • 発表場所: University of Liverpool
  • 年月日: 2008-07-27
• [学会発表] 酸素分子によるSi(111)-7×7の酸化反応ダイナミクスと初期吸着確率の表面温度依存性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆、寺岡有殿
  • 学会等名: 第55回応用物理学学術講演会
  • 発表場所: 日大理工, 千葉
  • 年月日: 2008-03-27
• [学会発表] Si(111)-7×7表面の室温酸化におけるレストアトムの放射光XPSによるリアルタイム観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第55回応用物理学学術講演会
  • 発表場所: 日大理工, 千葉
  • 年月日: 2008-03-27
• [学会発表] Real time observation of O2 adsorption on Si(111)-7x7 at 300K by use of synchrotron radiation O 1s and Si 2p XPS (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: Symposium on Surface and Nano Science 2008 (SSNS08)
  • 発表場所: Appi, Iwate
  • 年月日: 2008-01-22
• [学会発表] Si(111)表面の酸化反応ダイナミクスと初期吸着確率の表面温度依存性の関係 (2008)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第21回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 立命館大学草津キャンパス
  • 年月日: 2008-01-12
• [学会発表] 放射光リアルタイムO 1sおよびSi 2p光電子分光で観た酸素ガスによるSi(111)表面の室温酸化反応 (2008)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第21回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 立命館大学草津キャンパス
  • 年月日: 2008-01-12
• [学会発表] Incident kinetic energy of O2 and surface temperature dependence of initial sticking probability for Si(111)-7×7 investigated by real-time XPS combined with supersonic molecular beam (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: 4th International Symposium on Practical Surface Analysis and 6th Korea-Japan International Symposium on Surface Analysis
  • 発表場所: 金沢音楽堂
  • 年月日: 2007-11-25
• [学会発表] Time resolved O 1s & Si 2p XPS for oxidation of Si(111)-7×7 at 300K (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: 9th International Conference on Atomically controlled Syrfaces, Interfaces and Nanostructures
  • 発表場所: 東大生産技術研究所
  • 年月日: 2007-11-11
• [学会発表] SR-XPS analysis for AlN layer formed on Al(111) at 473K by supersonic N2 molecular beams (2007)
  • 著者名/発表者名: Y. Teraoka, A. Yoshigoe
  • 学会等名: 4th International Symposium on Practical Surface Analysis and 6th Korea-Japan International Symposium on Surface Analysis
  • 発表場所: Sendai in Japan
  • 年月日: 2007-11-08
• [学会発表] 初期吸着確率の入射運動エネルギーおよびその表面温度依存性にみるSi(111)-7×7表面への酸素分子の吸着ダイナミクス (2007)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第27回表面科学講演大会
  • 発表場所: 東大生産技術研究所
  • 年月日: 2007-11-01
• [学会発表] Si(111)-7×7表面への酸素分子の室温吸着過程の放射光光電子分光によるリアルタイム観察-O 1sおよびSi 2pの時間変化およびその相関- (2007)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆, 寺岡有殿
  • 学会等名: 第27回表面科学講演大会
  • 発表場所: 東大生産技術研究所
  • 年月日: 2007-11-01
• [学会発表] Observation of metastable O2 adsorption structure on Si(111)-7×7 at room temperature by real-time O1s & Si2p XPS using synchrotron radiation (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: 12th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'07)
  • 発表場所: Brussels -Flagey-
  • 年月日: 2007-09-09
• [学会発表] Si(111)-7×7表面の室温酸化におけるO 1sおよびSi 2p光電子スペクトルの時間変化 (2007)
  • 著者名/発表者名: 吉越章隆、寺岡有殿
  • 学会等名: 第68回応用物理学学術講演会
  • 発表場所: 北海道工業大学
  • 年月日: 2007-09-04
• [学会発表] In-situ observation of oxidation on Si(111)-7×7 surface at room temperature by use of synchrotron radiation x-ray photoelectron spectroscopy (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: 2nd Japan-Korea Symposium on Surface Nanostructure
  • 発表場所: Matsushima, Miyagi
  • 年月日: 2007-06-19
• [学会発表] Metastable moleculary chemisorbed oxygen adsorbate on Si(111)-7×7 surface observed by synchrotron radiation real-time photoelectron spectroscopy (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Yoshigoe, Y. Teraoka
  • 学会等名: The 3rd International Workshop on Oxidation Reactions
  • 発表場所: Suita, Osaka
  • 年月日: 2007-05-10
• [産業財産権] グラフェンの形成方法およびグラフェンの形成装置 (2010)
  • 発明者名: 寺岡有殿、吉越章隆、吹留博一、末光眞希、今泉京
  • 権利者名: 独立行政法人日本原子力研究開発機構、国立大学法人東北大学
  • 産業財産権番号: 特許番号:特願2010-45842
  • 出願年月日: 2010-03-02