| 研究課題/領域番号 |
19540520
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
庄司 多津男 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (50115581)
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| 研究分担者 |
津島 晴 横浜国立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90171991)
山崎 耕造 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50115648)
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| キーワード | プラズマ応用 / 高気圧プラズマ / マイクロ波 / プラズマプロセス / 微粒子 / 非平衡熱プラズマ |
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| 研究概要 |
この研究はマイクロ波を用いて大容量の高気圧体積プラズマを生成し、生成の物理機構の解明および、このプラズマを利用したガスや微粒子を用いたプロセスへの応用の基礎を確立することを目的としている。平成20年度に得られた主な成果は以下の通りである。
(1)平成19年度に完成した高気圧マイクロ波プラズマ発生、閉じ込め装置で、マイクロ波(5kW,2.45GHz)の電場と平行に置いたロッドアンテナの先端より高気圧プラズマが点火し、成長する過程をアルゴン、ヘリウム、窒素について調べ、窒素が大容量プラズマの生成に効率が高いことがわかった。
(2)窒素プラズマの分光計測を行い、窒素分子の回転温度を求め、マイクロ波電力およびガス圧などに関する依存性をより詳細に求め、ガス温度が3000-4000度Kに達することが分かった。
(3)この高気圧プラズマに反応させる微粒子を投入するために、高電圧による微粒子の帯電と電場による加速方法を考案し、実験で微粒子が大気圧プラズマに高速で投入され反応させることに成功した。
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