光異性化反応による水素結合制御型ソフトリソグラフィー

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19550184
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 有機工業材料
• 研究機関: 千葉大学
• 研究代表者: 高原 茂 千葉大学, 大学院・融合科学研究科, 准教授 (90272343)
• 研究分担者: 星野 勝義 千葉大学, 大学院・融合科学研究科, 教授 (50192737)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: レジスト

研究概要

ヘモグロビンの代謝物であるビリルビンの光反応を, 工業的な画像複製技術であるリソグラフィープロセスへ応用した。反応活性種の発生しない光異性化反応によってビリルビン分子内の水素結合を解き, これに基づきビリルビン薄膜がほぼ中性の水に近い現像条件など穏やかな条件でポジ型の光パターニングができることを明らかにした。

研究成果

• [学会発表] Photo-patterning of Bilirubin layer (2008)
  • 著者名/発表者名: Shigeru. Takahara, Atsumasa Takahashi, Park Chulho, Syuichi Otsuka, Satoki Hashimoto
  • 学会等名: XXII IUPAC Symposium on Photochemistry
  • 発表場所: Gothenburg, Sweden
  • 年月日: 20080728-0801
• [学会発表] Molecular photo-patterning materials (2007)
  • 著者名/発表者名: Atsumasa Takahashi, Park Chulho, Syuichi Otsuka and Shigeru Takahara
  • 学会等名: Soft lithography process of Bilirubin layer 2007 International Symposium on Frontier Photoscience
  • 発表場所: Gyeongju, Korea
  • 年月日: 20071122-25
• [学会発表] ビリルビンの光シス-トランス異性化反応によるソフトな光パターニング (2007)
  • 著者名/発表者名: 高橋篤正, パクチュルホ, 大塚周一, 高原茂
  • 学会等名: 光化学討論会
  • 発表場所: 松本
  • 年月日: 20070926-28
• [学会発表] It is possible to make a photo-lithography by photo-isomerization?, Photo-patterning of Bilirubin thin layer (2006)
  • 著者名/発表者名: Atsumasa Takahashi, Park Chulho, Syuichi Otsuka, Shigeru Takahara
  • 学会等名: 2006 International Symposium on Frontier Photoscience
  • 発表場所: Seoul, Korea
  • 年月日: 20061103-06
• [備考] 高原茂(招待講演発表者), 生体物質の光シス-トランス異性化反応によるソフトな光パターニング, 千葉大学・科学技術振興機構新技術説明会, 科学技術振興機構JSTホール(東京・市ヶ谷)2007(平成19年3月16日)
  • URL: http://www.takaharalab.tp.chiba-u.jp/
• [産業財産権] 光パターニング材料および光パターン形成方法 (2005)
  • 発明者名: 高原茂
  • 権利者名: 千葉大学
  • 産業財産権番号: 特願2005-211948
  • 出願年月日: 2005-07-21