研究課題
基盤研究(C)
原料分子のエネルギーを制御することにより、ガリウム砒素の微細構造作製技術の可能性を検討した。本技術に最適なGa原料分子とAs原料分子として、それぞれトリイソブチルガリウムおよびトリスジメチルアミノ砒素を選択した。これら原料を5eV以上のエネルギーに加速して、ガリウム砒素の代表的な結晶面に照射し、結晶成長過程を解析した。得られた結果と分子線入射方向を精密に制御することにより所望の結晶面を選択的に成長させる可能性を示した。
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Ma t e r i a l s S c i e n c e a n d E n g i n e e r i n g B 165
ページ: 107-110
S u r f a c e He t e r o g e n e i t y E f f e c t s i n Ad s o r p t i o n a n d C a t a l y s i s o n S o l i d 7
ページ: 2 0
Ap p l i e d S u r f a c e S c i e n c e 253,No13
ページ: 5 9 1 4-5 9 1 9
