• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2009 年度 実績報告書

La酸化物超薄膜/Si界面の原子レベル誘電特性の解明

研究課題

研究課題/領域番号 19560020
研究機関電気通信大学

研究代表者

中村 淳  電気通信大学, 電気通信学部, 准教授 (50277836)

キーワードナノ材料 / 電子デバイス / 表面界面物性
研究概要

本研究は、実験から得られる経験的パラメータを一切用いない密度汎関数理論に基づく第一原理計算手法を用いて、La系high-k酸化物超薄膜とSiの界面におけるナノススコピック領域の原子スケール誘電特性および電子状態を評価するものである。まず単独のLa203(0001)超薄膜について局所誘電率を評価したところ、3分子層(ML)厚以上の薄膜の静的・光学的誘電率は薄膜中心部でバルクの実験値によく一致していた。しかし最も薄い2MLの薄膜中心部においては、静的誘電率の値が非常に大きくなっていた。これは薄膜表面の緩和の影響を強く受けているためだと考えられる。一方、表面のごく近傍においては局所誘電率は低下していた。La203はイオン性度が高いため、表面近傍においてはランプリング(陰イオンがバルク側に大きく変位)が生じており、それが表面イオン性度の低下、すなわち有効電荷の低下をもたらしていることが原因である。さらに、過去の実験結果をもとにSi(001)/La203(01-10)直接界面モデルと、SiとLa203の間にSiO2結晶を緩衝層として持つモデルを提案し、価電子帯バンドオフセット(VBO)を評価した。その結果、直接界面モデルのVBOは、Si、La203膜厚に関わらず過去のVBOの実験値、計算値よりも非常に小さい値であることがわかった。この不一致は、Si層からLa203層への電荷移動により、VBOが小さくなるようにエネルギーがシフトしているためである。一方β-quartz構造を緩衝層として持つモデルにおいてはVBOの値が大きくなった。このことは、VBOは界面での局所的な原子配列の影響を強く受けており、VBOを制御のためには界面原子配列の制御が極めて重要であることを示している。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] In-plane strain effects on dielectric properties of the HfO2 thin film2009

    • 著者名/発表者名
      S.Wakui
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.B 27

      ページ: 2020-2023

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Negative donors in bulk Si and Si/SiO2 quantum wells in a magnetic field2009

    • 著者名/発表者名
      J.Inoue
    • 雑誌名

      Phys.Rev.B 79

      ページ: 305206(1-8)

    • 査読あり
  • [学会発表] HfO2・SiO2薄膜における酸素欠損近傍の局所誘電率評価2010

    • 著者名/発表者名
      涌井貞一
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2010-03-21
  • [学会発表] Si(001)/La2O3(01-10)界面の第一原理的バンドオフセット評価2010

    • 著者名/発表者名
      谷内良亮
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2010-03-17
  • [学会発表] Dielectric properties of GeO2 ultrathin films2010

    • 著者名/発表者名
      田村雅大
    • 学会等名
      37th Conference on the Physics and Chemistry of Surfaces and Interfaces
    • 発表場所
      Santa Fe, New Mexco, USA
    • 年月日
      2010-01-13
  • [学会発表] Ge酸化物超薄膜の誘電特性2009

    • 著者名/発表者名
      田村雅大
    • 学会等名
      第29回表面科学学術講演会
    • 発表場所
      タワーホール船堀(東京都)
    • 年月日
      2009-10-27
  • [学会発表] 第一原理計算によるSi(001)/ba2O3(01-10)界面のバンドオフセット評価2009

    • 著者名/発表者名
      谷内良亮
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山県)
    • 年月日
      2009-09-09
  • [学会発表] HfO2薄膜の誘電特性:結晶構造依存性2009

    • 著者名/発表者名
      涌井貞一
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山県)
    • 年月日
      2009-09-09
  • [学会発表] Nano-scale profile of the dielectric constant near surfaces and interfaces : A first-principles approach(招待講演)2009

    • 著者名/発表者名
      J.Nakamura
    • 学会等名
      2nd International Workshop on Epitaxial growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures(SemiconNano 2009)
    • 発表場所
      Anan, Tokushima, Japan
    • 年月日
      2009-08-12
  • [学会発表] Dielectric constant profiles of the thin-films : alpha- and beta-quartz phases of(Si or Ge)dioxides2009

    • 著者名/発表者名
      J.Nakamura
    • 学会等名
      12th International Conference on the Formation of Semiconductor Interfaces(ICFSI-12)
    • 発表場所
      Weimar, Germany
    • 年月日
      2009-07-07

URL: 

公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi