La酸化物超薄膜/Si界面の原子レベル誘電特性の解明

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560020
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 電気通信大学
• 研究代表者: 中村 淳 電気通信大学, 電気通信学部, 准教授 (50277836)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: ナノ材料 / 電子デバイス / 表面界面物性

研究概要

密度汎関数理論に基づく第一原理電子状態計算を用いて、La酸化物超薄膜単体およびLa酸化物とSi基板界面における原子レベル誘電特性、電子状態計算を行った。La酸化物表面においては、表面緩和により誘電率が著しく低下することがわかった。また、界面におけるバンドオフセットは、界面原子配列の詳細に大きく依存することがわかった。

研究成果

• [雑誌論文] n-plane strain effects on dielectric properties of the HfO2 thin film (2009)
  • 著者名/発表者名: S. Wakui, J. Nakamura, A. Natori
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol. B 27 ページ: 2020
  • 査読あり
• [雑誌論文] Negative donors in bulk Si and Si/SiO2 quantum wells in a magnetic field (2009)
  • 著者名/発表者名: J. Inoue, T. Chiba, A. Natori, J. Nakamura
  • 雑誌名: Phys. Rev. B 79 ページ: 305206
  • 査読あり
• [雑誌論文] Atomic scale dielectric constant near the SiO2/Si(001) interface (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Wakui, J. Nakamura, A. Natori
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol. B 26 ページ: 1579
• [雑誌論文] Dielectric properties of the interface between Si and SiO2 (2007)
  • 著者名/発表者名: S. Wakui, J. Nakamura, A. Natori
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 46 ページ: 3261
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nano-Scale Profile of the Dielectric Constant Near the Si/oxide Interface: A First-Principles Approach (2007)
  • 著者名/発表者名: J. Nakamura, S. Wakui, S. Eguchi, R. Yanai, A. Natori
  • 雑誌名: ECS Trans. 11 ページ: 273
  • 査読あり
• [雑誌論文] Dielectric discontinuity at a twin boundary in Si(111) (2007)
  • 著者名/発表者名: J. Nakamura, A. Natori
  • 雑誌名: Proc. 28th Int. Conf. Semi. Phys. 893 ページ: 5
  • 査読あり
• [学会発表] Nano-scale profile of the dielectric constant near surfaces and interfaces: A first-principles approach (2009)
  • 著者名/発表者名: J. Nakamura
  • 学会等名: 2nd International Workshop on Epitaxial growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures
  • 発表場所: SemiconNano 2009(招待講演)
  • 年月日: 2009-08-12
• [学会発表] Nano-scale profile of the dielectric constant near the Si/Oxide interface: A first-principles approach (2007)
  • 著者名/発表者名: J. Nakamura, S. Wakui, S. Eguchi, R. Yanai, A. Natori
  • 学会等名: 212th Electrochemical society (ECS-212)
  • 発表場所: Washington D.C., USA
  • 年月日: 2007-10-09
• [備考]
  • URL: http://www.natori.ee.uec.ac.jp/junj/index-j.html