金属/誘電体サブ波長格子によるスラブ導波路型高分散プリズムの試作

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560036
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 応用光学・量子光工学
• 研究機関: 大阪府立大学
• 研究代表者: 菊田 久雄 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (10214743)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 微小光学 / 金属誘電体多層膜 / 分光プリズム

研究概要

本研究では, 金属と誘電体からなるサブ波長周期格子を用いたスラブ導波路型の高分散分光プリズムの設計と試作に取り組んだ. 素子設計においては, 波長分散能に対するプリズム設計方法を確立するとともに, 集光機能を持った分光プリズムを提案した. 素子作製方法の開発では, 開口100nmの深溝にスパッタリングによって金属薄膜を設けた後に銅電解メッキで溝部に金属充填を行う方法, および, テトラクロロ金(III)酸を用いた前処理後に無電解メッキを施す方法について, プロセスを確立した.

研究成果

• [雑誌論文] Refraction and Diffraction by a Metal and Dielectric Multilayered Prism (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Kameda, Y. Ohta and H. Kikuta
  • 雑誌名: Journal of the Optical Society of America A Vol.25 ページ: 903-910
  • 査読あり
• [雑誌論文] Technical Strategy for advanced micro and nano-structured optical elements (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Kikuta
  • 雑誌名: Proc. SPIE Vol.6834 ページ: 683404
  • 査読あり
• [学会発表] 金属/誘電体多層構造を用いた導波形レンズ (2008)
  • 著者名/発表者名: 亀田信治, 水谷彰夫, 菊田久雄
  • 学会等名: 第69回応用物理学学術講演会
  • 発表場所: 春日市
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] Numerical study on a slab microlens with metal-and-dielectric multilayered structure (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Kameda, A. Mizutani and H. Kikuta
  • 学会等名: International Commission for Optics ICO-21 2008 Congress
  • 発表場所: Autraria
  • 年月日: 2008-07-09
• [学会発表] Design of highly dispersive optical prism of metal-and-dielectric multilayered structure (2007)
  • 著者名/発表者名: S. Kameda and H. Kikuta
  • 学会等名: EOS Topical Meeting on Diffractive Optics 2007
  • 発表場所: Spain
  • 年月日: 2007-11-21
• [学会発表] 金属/誘電体多層構造プリズムのための金属クラッド光導波路の設計 (2007)
  • 著者名/発表者名: 亀田信治, 菊田久雄
  • 学会等名: 第68回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2007-09-07