周波数変化型高感度2軸加速度センサに関する研究

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560047
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 応用物理学一般
• 研究機関: 石巻専修大学
• 研究代表者: 菅原 澄夫 石巻専修大学, 理工学部, 教授 (00007197)
• 研究分担者: 工藤 すばる 石巻専修大学, 理工学部, 教授 (20214968)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: 加速度センサ / 力センサ / 横振動子 / 軸力 / 有限要素法 / 周波数変化 / 2軸センサ / 折り曲げ支持棒

研究概要

本研究は,新しい周波数変化型高感度2軸加速度センサを提案し,有限要素法による設計を行い,実験的にその妥当性を検証したものである。加速度を周波数の変化として検出することを特徴とする本センサは,加速度と周波数変化の関係が直線となり好ましい。また,加速度の印加方向の吟味及び折り曲げ支持棒の適用により高感度化を図り,重力場を利用して感度測定を行い,有限要素法による解析値とも良く一致することが検証された。

研究成果

• [雑誌論文] Finite Analysis of Sensitivity of Frequency-Change Force Sensor (2009)
  • 著者名/発表者名: Sumio Sugawara, Masaki Yamakawa, Subaru Kudo
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. Vol.48 ページ: 07GF04-1-07GF04-5
  • 査読あり
• [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン加速度センサの傾斜角センサへの応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 菅原澄夫
  • 雑誌名: 月刊「化学工業」 Vol.60,No.9 ページ: 45-49
• [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン2軸加速度センサの高感度化に関する研究 (2008)
  • 著者名/発表者名: 菅原澄夫
  • 雑誌名: 超音波TECHNO Vol.20,No.3 ページ: 64-66
• [雑誌論文] 周波数変化型単結晶シリコン加速度センサの傾斜角センサへの応用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 菅原澄夫
  • 雑誌名: 超音波TECHNO Vol.20,No.4 ページ: 74-76
• [雑誌論文] Application of Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Acceleration Sensors to Inclination Angle Sensor (2008)
  • 著者名/発表者名: Sumio Sugawara, Tokiharu Watanabe, Jiro Terada
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. Vol.47,No.5 ページ: 4048-4051
  • 査読あり
• [雑誌論文] Theoretical Studies of Realizing High Sensitivity for Frequency-Chage-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor (2008)
  • 著者名/発表者名: Sumio Sugawara, Jumpei Koike
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. Vol.47,No.8 ページ: 6578-6582
  • 査読あり
• [雑誌論文] Construction of Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor (2007)
  • 著者名/発表者名: Sumio Sugawara, Hiroyuki SUZUKI, Takashi Saito
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. Vol.46,No.7B ページ: 4652-4655
  • 査読あり
• [学会発表] Experimental Study of Sensitivity of Frequency-Change-Type Two-Axis Acceleration Sensor (2009)
  • 著者名/発表者名: Sumio Sugawara, Yu Kajiwara
  • 学会等名: Symp. on Ultrason. Electron.
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 20091100
• [学会発表] A Study on Sensitivity of Frequency-Change-Type Force Sensor (2008)
  • 著者名/発表者名: Sumio Sugawara, Masaki Yamakawa
  • 学会等名: Proc. of Symp. on Ultrason. Electron.
  • 年月日: 20081100
• [学会発表] Application of Frequency-Change-Type Single-Crystal Silicon Acceleration Sensors to Inclination Angle Sensor (2007)
  • 著者名/発表者名: Sumio Sugawara, Tokiharu Watanabe
  • 学会等名: Symp. on Ultrason. Electron.
  • 発表場所: Tsukuba
  • 年月日: 20071100
• [学会発表] Realization of High Sensitivity of Frequency-Chang-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor (2007)
  • 著者名/発表者名: Sumio Sugawara, Jumpei Koike
  • 学会等名: Symp. on Ultrason. Electron
  • 発表場所: Tsukuba
  • 年月日: 20071100