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2007 年度 実績報告書

原子論的シミュレーションによる半導体ナノワイヤの成長機構と力学的特性の解明

研究課題

研究課題/領域番号 19560077
研究機関電気通信大学

研究代表者

新谷 一人  電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (00162793)

キーワード一次元ナノ構造 / ナノワイヤ / VLS成長 / クラスター / コアシェル / 積層型 / ヤング率 / 分子動力学法
研究概要

(1)Au-Si合金クラスターの特性解析については、当初予定していたAu-Si原子間相互作用に対するMEAMポテンシャルの使用が困難であるため、異種金属元素から成るバイメタルクラスターの形成過程の解析を行った。4種の金属元素Au,Ag,Pt,Pdの任意の2種の元素の組み合わせに対して、それぞれの元素から成るクラスターの合体によるバイメタルクラスターの形成過程を調べた。その結果、形成されるバイメタルクラスターのモルフォロジーは、それぞれの元素のバルク結晶の格子定数から計算される格子不整合とクラスターのサイズに依存すること、クラスターのサイズがそれぞれの元素の組み合わせで決まる臨界サイズを超えない範囲では、格子不整合が大きい場合にコアシェルクラスターが、格子不整合が小さい場合に合金クラスターが形成され、クラスターのサイズが臨界サイズを超えると、合体は途中で停止し、両クラスターの界面で整合した合体クラスターが形成されることが分かった。
(2)Ge(コア)/Si(シェル)ナノワイヤとGe/Si軸方向積層型ナノワイヤの引張シミュレーションを行い、弾性域ではヤング率を求め、非弾性域では変形挙動を調べた。まず、Ge(コア)/Si(シェル)ナノワイヤのヤング率のGe分率依存性を調べた。その結果、Ge(コア)/Si(シェル)ナノワイヤのヤング率は、ナノワイヤの軸が<111>方向の場合には、Ge分率が0.35までSiナノワイヤのヤング率とほぼ同じ値であり、Ge分率が0.58以上でVegard則に従うこと、ナノワイヤの軸が<110>方向の場合には、ほぼすべてのGe分率の範囲でVegard則に従うことが分かった。次に、Ge/Si軸方向積層型ナノワイヤに対して、積層するGe層とSi層の厚さを変えて引張シミュレーションを行った。その結果、Ge/Si軸方向積層型ナノワイヤのヤング率は、ナノワイヤの軸が<111>方向の場合にはGe層とSi層の原子数の比に依存するが、ナノワイヤの軸が<110>方向の場合にはほぼ一定であること、非弾性域ではGe層で原子鎖が形成され、Ge層で破断が生じることが分かった。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (6件)

  • [雑誌論文] Damping Characteristics of Commensurate Double-Walled Carbon Nanotube Oscillators2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Ooi
    • 雑誌名

      Materials Research Society Symposium Proceedings (Nanotubes and Related Nanostructures) Vol.1052

      ページ: 1057-II10-17

    • 査読あり
  • [学会発表] 炭素ナノ材料の電子的・力学的特性の解析2008

    • 著者名/発表者名
      戸簾博之
    • 学会等名
      日本機械学会関東支部第14期総会講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-03-15
  • [学会発表] 金薄膜とシリコン基板との界面の原子論的解析2007

    • 著者名/発表者名
      中島隆明
    • 学会等名
      日本機械学会M&M2007材料力学カンファレンス
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2007-10-26
  • [学会発表] 異種金属クラスターの合体による合金クラスター形成過程の分子動力学解析2007

    • 著者名/発表者名
      水野慎哉
    • 学会等名
      日本機械学会関東支部ブロック合同講演会2007さいたま/第3回埼玉ブロック大会
    • 発表場所
      さいたま
    • 年月日
      2007-09-22
  • [学会発表] 異種原子クラスターの合体の研究2007

    • 著者名/発表者名
      高見圭太
    • 学会等名
      日本材料科学会平成19年度学術講演大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2007-05-25
  • [学会発表] Cuクラスターの堆積シミュレーション2007

    • 著者名/発表者名
      水野慎哉
    • 学会等名
      日本材料科学会平成19年度学術講演大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2007-05-25
  • [学会発表] Stone-Wales欠陥を有するカーボンナノチューブの分子動力学解析2007

    • 著者名/発表者名
      三村勇介
    • 学会等名
      日本材料科学会平成19年度学術講演大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2007-05-25

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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