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2008 年度 研究成果報告書

マイクロ・ウォータジェット・ポリシング法の開発と次世代光学素子の高精度化

研究課題

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研究課題/領域番号 19560105
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東北大学

研究代表者

人見 宣輝  東北大学, 大学院・工学研究科, 産学官連携研究員 (30300669)

連携研究者 厨川 常元  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90170092)
吉原 信人  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (80374958)
研究期間 (年度) 2007 – 2008
キーワード機械工作・生産工学 / 精密研磨 / 精密部品加工
研究概要

ガラスレンズなど非球面光学素子の超精密金型の研削後の高度な研磨技術に対する工業界の要請は非常に高い。
まず微細な砥粒を高速高圧で噴出させる方式を検討した。その結果、本研究では研究対象としては工業的な観点から水に砥粒を分散させたスラリーに若干量のガスを混入したものを、高圧水を主ジェットとしたアスピレータに吸引させる方法を基本構成とした。この他にも有用性を確認した方式を見出した。
アスピレータ式ウオ-タジェット部の設計を実施、水流研磨装置の試作組み付けをし、機能評価を行い、スラリーの吸引機能と吐出を実験的に確認した。さらに安定的に混合室に負圧を発生させスラリーを噴出させるための条件を見出した。
スラリー衝突時のワークとのなす角度を変化させて加工評価したところ、60°までの噴射角度範囲では超硬合金では粗さの変化が少なく噴出速度成分エネルギーの効果の高いことを確認した。

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公開日: 2010-06-10   更新日: 2016-04-21  

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