2008 年度研究成果報告書

カーボンナノチューブを用いた高アスペクト比ナノスケール加工法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	19560127
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	愛知工業大学
研究代表者	松室昭仁愛知工業大学, 工学部, 教授 (80173889)
研究分担者	高木誠愛知工業大学, 工学部, 教授 (40288428)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	カーボンナノチューブ探針 / STM加工 / 高アスペクト比加工 / ナノスケール加工
研究概要	ナノデバイスの実現のためナノメートルの加工スケール,精密位置制御, 高アスペクト比(加工深さ/穴径) 加工技術の開発を,カーボンナノチューブ探針を走査型トンネル電子顕微鏡の探針として用いた場合の可能性について検討を行った. 加工深さ286nm, 穴径63nm, アスペクト比4.5の穴加工が実現し, 従来のタングステン探針に対し, 45倍向上した. その加工原理は電解蒸発と考察された.