固体表面接触部のナノ観察と同定に関する研究のナノ位置決めシステムへの応用

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560133
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 宇都宮大学
• 研究代表者: 川口 尊久 宇都宮大学, 大学院・工学研究科, 助教 (60234043)
• 研究分担者: 畑沢 鉄三 宇都宮大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30114169) ; 藤本 隆士 弓削商船高専, 電子機械工学科, 教授 (30332076)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 位置決め / 摩擦 / ナノスケール / 固体表面 / セラミックス

研究概要

本研究では, 摩擦を利用した駆動機構として, 接触する二面間に接線力を作用させたときの微小変位特性を利用して, ナノメータオーダの分解能をもつ位置決め機構について検討を行った. その結果, 種々の表面粗さを有する二面間の繰返し微小変位特性を用いた精密送りを分解能1nmで実現できる可能性が得られた.

研究成果

• [学会発表] Tribological Performances of Needle Roller Thrust Bearibgs (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Hatazawa and T. Kawaguchi
  • 学会等名: 2nd International Conference on Advan ced Tribology
  • 発表場所: Singapore
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] 接線力による固体表面間の微小変位特性のナノ位置決めへの応用について (2008)
  • 著者名/発表者名: 川口尊久, 畑沢鉄三, 小林正陽
  • 学会等名: 日本機械学会関東支部ブロック合同講演会-'08おやま-講演論文集
  • 発表場所: (151-152)
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] スパッタ薄膜による微細接触部の検出について (2008)
  • 著者名/発表者名: 川口尊久, 畑沢鉄三, 宇藤要輔
  • 学会等名: 日本機械学会関東支部ブロック合同講演会-'08おやま-講演論文集
  • 発表場所: (149-150)
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] 線接触における油膜厚さについて (2008)
  • 著者名/発表者名: 野澤勇樹, 畑沢鉄三, 川口尊久
  • 学会等名: 日本機械学会関東支部ブロック合同講演会-'08おやま-講演論文集
  • 発表場所: (161-162)
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] 微小変位特性のナノ位置決めへの応用 (2007)
  • 著者名/発表者名: 川口尊久, 畑沢鉄三, 中村慧佑
  • 学会等名: 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集
  • 発表場所: (81-82)
  • 年月日: 20070000
• [学会発表] スラスト針状ころ軸受の摩擦トルクについて (2007)
  • 著者名/発表者名: 畑沢鉄三, 川口尊久
  • 学会等名: 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  • 発表場所: (915-916)
  • 年月日: 20070000