研究課題
基盤研究(C)
本研究は表面機械的特性に優れた,特にトライボロジカルな特性発現に注目して,炭素系機能材料を用いた高機能表面を,三次元イオン注入・堆積プロセスを主体とする手法を用いて形成する技術開発を行うことを目的とする.C-SあるいはC-S-Fクラスタを分散させたナノコンポジットDLC膜の開発を中心に実施した.その結果,10^<-5>Pa程度の高真空中においても値が0.03という非常に低い摩擦係数を示すことが明らかとなった.
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