マイクロ/ナノトライボロジーの超微細加工への応用

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560151
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 愛知工業大学
• 研究代表者: 高木 誠 愛知工業大学, 工学部, 教授 (40288428)
• 研究分担者: 松室 昭仁 愛知工業大学, 工学部, 教授 (80173889)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: トライボロジー

研究概要

将来様々な分野への応用が期待されるマイクロ/ナノシステムの実現に必要なSi単結晶の微細加工技術として、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて微小荷重で引掻き摩擦による加工を試み、得られた加工形状や微構造変化を解明して、加工プロセスを推定した。

研究成果

• [雑誌論文] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM (2008)
  • 著者名/発表者名: Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata, Katsuhiro Sasaki and Hiroyasu Saka
  • 雑誌名: Materials Transactions 49-6 ページ: 1298-1302
  • 査読あり
• [雑誌論文] SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化 (2007)
  • 著者名/発表者名: 吉田浩也, 松室昭仁, 岩田博之, 高木誠
  • 雑誌名: 精密工学会誌 Vol.73, No.10 ページ: 1149-1153
  • 査読あり
• [学会発表] 生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化 (2008)
  • 著者名/発表者名: 川本竜也、高木誠、松室昭仁
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I62
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] SPM加工現象のTEM内その場観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松本達、高木誠、松室昭仁、岩田博之
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I64
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質 (2008)
  • 著者名/発表者名: 中山浩征、高木誠、松室昭仁
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I46
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 粕谷健太、高木誠、松室昭仁
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I63
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製 (2007)
  • 著者名/発表者名: 新井裕之, 松室昭仁, 高木誠
  • 学会等名: 2007年度精密工学会秋季大会論文集(707-708)
  • 年月日: 20070000
• [学会発表] AFMを用いた引掻き加工に伴うSi単結晶の微構造変化 (2007)
  • 著者名/発表者名: 岡田猛, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之, 坂公恭
  • 学会等名: 2007年度精密工学会秋季大会論文集(839-840)
  • 年月日: 20070000
• [学会発表] AFMによる引掻き加工に伴うSi単結晶のアモルファス化とその挙動 (2007)
  • 著者名/発表者名: 岡田猛, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之, 坂公恭
  • 学会等名: 日本金属学会講演概要2007年秋期大会
  • 発表場所: 419
  • 年月日: 20070000