研究課題
基盤研究(C)
2007年度および2008年度を通して液晶バックライトに用いる冷陰極蛍光ランプの電極応用としてダイヤモンド基板上にMgOを成膜した複合電極の可能性を検討した。研究成果の概要を以下に列記する。(1) ダイヤモンド電極上に成膜するMgO薄膜の堆積条件(スパッタリングガスの混合比、基板温度、MgO膜厚)を変えて、製作したMgO薄膜の二次電子放出係数を明らかにし、成膜の最適条件を確立した。(2) 複合電極の下地として用いるダイヤモンド電極の放電特性への電極表面粗さの影響を検討した結果、表面を粗くすることにより二次電子放出係数が大きくなることを見出した。(3) Ne/Xe混合ガスプラズマからのXe 原子の共鳴線147nmの真空紫外発光強度はXeガスを30%添加で最大となることがわかった。
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すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (8件)
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