研究課題
基盤研究(C)
有機薄膜を作製する新しい方法として、超臨界流体を用いた析出法と急減圧法を検討した。析出法では微結晶ならびに薄膜状の析出物が得られた。一方、急減圧法では微結晶しか得られなかったが、マスクを用いたパターニングが可能であることを示した。従来の方法と比べ、膜質は劣るものの、一貫したドライプロセスで有機薄膜が作製できる点が特徴である
すべて 2008
すべて 学会発表 (2件)
