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2008 年度 実績報告書

電界効果MOCVDによるナイトライド半導体の結晶成長

研究課題

研究課題/領域番号 19560321
研究機関東海大学

研究代表者

犬島 喬  東海大学, 情報理工学部, 教授 (20266381)

キーワード電界効果MOCVD / AIN / 結晶極性
研究概要

[1]電界効果MOCVD装置を用いたAIN結晶作成:
AIN結晶成長における電界印加効果を検証するため、結晶成長方向に正負1kV/cmの高電界を印加する機構をもちいて実験を行った。使用した装置は横型であり、MOCVD装置に適合した石英製インナー管を作成し、基板上部3ミリの位置に上部Mo電極を設置し、Moサセプタをヒーターと絶縁することで、下部電極とした。基板は焼結体BNの抵抗加熱によりMoサセプタを介して最大1150℃に加熱することが可能となった。
[2]電界効果の検証:
電界印加による結晶構造の変化を検証するため、サファイア上にAINを電界効果MOCVDでヘテロエピ成長させ、その結晶分域構造をSEMで観測した。AINは大きな自発分極を持っているので、Al極性とN極性の選別が成長時の電界方向により極性の制御が可能であった。AINの作成には20トール程度の減圧下で成長させるが、電界を印加してもプラズマが発生しない工夫を施し、成長を行った。成長した面の極性をKOHによるエッチングにより確認した。
[3]電界効果MOCVDによる半導体AINの作成:
AINのu-parameterは0.381であり、分極方向はN原子からAl原子に向かっている。成長時にN原子からAl原子に向かって電界を印加すると、N極性のAINが成長し、成長時にAl原子からN原子に向かって電界を印加するとAl極性の結晶が成長することを確認した。更に総合的な評価をX線回折や、光学測定、TEM,ラマン散乱測定で実施した。この成果の一部を2009年春の応用物理学会(筑波大学)で報告した。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] Impurity band structure of boron-doped diamond2009

    • 著者名/発表者名
      T. Inushima, R. F. Mamin, H. Shiomi
    • 雑誌名

      Physical Review B 79

      ページ: 045210-1-045210-6

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Crystal growth of InN by MOCVD wi th electric field along the c-axis2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Ota, R. Biswas, M. Higo, T. Inushima
    • 雑誌名

      J. Crystal Growth (印刷中)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Phonon polariton of InN observed by infrared synchrotron radiation2008

    • 著者名/発表者名
      T. Inushima, K. Fukui, Hai Lu, W. J. Schaff
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 92

      ページ: 171905-1-171905-3

    • 査読あり
  • [学会発表] 電界効果MOCVDによるAINの合成と評価2009

    • 著者名/発表者名
      太田優一, 犬島 喬
    • 学会等名
      第56回応用物理学会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-31

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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