次世代弾性波および光デバイスを目指した多機能薄膜形成技術の研究

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560322
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 神奈川工科大学
• 研究代表者: 宇野 武彦 神奈川工科大学, 工学部, 教授 (50257408)
• 研究分担者: 野毛 悟 沼津工業高等専門学校, 電気電子工学科, 准教授 (10221483)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: 機能性薄膜 / ルミネセンス / 誘導放出 / シリカガラス / 光増幅 / 圧電性

研究概要

(1)シリカガラスに不純物を周期的に添加した薄膜の可視発光現象について、形成条件と発光スペクトルの関係を求め、400nm付近の短波長帯における光増幅の可能性を確認した。圧電性については水晶に近い定数値が得られたが、1年以上の長期にわたる圧電性の保持は艱難であった。(2)結晶性薄膜のシリカ基板上での結晶方位制御技術を検討し、酸化物単結晶薄膜形成の可能性を明らかにした。再現性改善のため温度センシング技術を開発した。

研究成果

• [雑誌論文] Observation of Stimulated Emission in Short Wavelength Band from Silica-based Superstructure Films (2009)
  • 著者名/発表者名: Takehiko Uno, Satoru Noge, Kei Kasahara
  • 雑誌名: I EICE Teansactions on Electronics Vol.E92-C ページ: 1454-1459
  • 査読あり
• [雑誌論文] New Fabrication Technique of LiNbO_3 Thin Film on a Silica Substrate (2008)
  • 著者名/発表者名: Takehiko Uno, Satoru Noge
  • 雑誌名: Ferroelectrics Vol.367 ページ: 73-81
  • 査読あり
• [雑誌論文] 分極処理した4価金属ドープシリカ薄膜における圧電性と可視発光 (2007)
  • 著者名/発表者名: 宇野武彦、野毛悟、藤塚俊
  • 雑誌名: 電気学会論文誌C 127巻 ページ: 1147-1154
  • 査読あり
• [学会発表] シリカ薄膜における短波長発光と誘導放出の観測 (2010)
  • 著者名/発表者名: 笠原慧、宇野武彦、野毛悟
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 平塚
  • 年月日: 2010-03-18
• [学会発表] 高温相水晶における無電極ワイヤレス温度センサの検討 (2010)
  • 著者名/発表者名: 田代博之、宇野武彦
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム
  • 発表場所: 仙台
  • 年月日: 2010-02-02
• [学会発表] SAW Prpaagation Characteristics of Buried Type Optical-waveguides on LiNbO_3 Substrates (2009)
  • 著者名/発表者名: Kei Kasahara, Takehiko Uno, Satoru Noge
  • 学会等名: The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2009-11-19
• [学会発表] High Temperature Sensor Using b-Phase Quartz (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Tashiro、Takehiko Uno、Satoru Noge
  • 学会等名: The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2009-11-19
• [学会発表] 超構造薄膜光導波路の形成と特性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 笠原慧、宇野武彦、野毛悟
  • 学会等名: 電子部品・材料研究会(電子情報通信学会)
  • 発表場所: 弘前
  • 年月日: 2009-08-10
• [学会発表] β相水晶の圧電特性と高温センサへの応用について (2009)
  • 著者名/発表者名: 田代博之、宇野武彦、野毛悟
  • 学会等名: 日本学術振興会弾性波デバイス第150委員会研究会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2009-07-31
• [学会発表] β水晶による高温用温度センサの検討 (2009)
  • 著者名/発表者名: 田代博之、宇野武彦、野毛悟
  • 学会等名: 電子情報通信学会総合大会
  • 発表場所: 松山
  • 年月日: 2009-03-20
• [学会発表] シリカ超構造薄膜における電子線発光 (2009)
  • 著者名/発表者名: 笠原慧、宇野武彦、野毛悟
  • 学会等名: 電子情報通信学会総合大会
  • 発表場所: 松山
  • 年月日: 2009-03-18
• [学会発表] Fabrication of Magneto-optic Thin Films on LiTaO3 and/or LiNbO3 substrates by Contact epitaxy (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Tashiro, Satoru Noge, Takehiko Uno
  • 学会等名: The 29th Symposium on Ultrasonic Electronic
  • 発表場所: 仙台
  • 年月日: 2008-11-11
• [学会発表] LiNbO_3基板に形成したシリカ超構造薄膜の光学特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 笠原慧、宇野武彦
  • 学会等名: 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティサマーミーティング
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-06-27
• [学会発表] LN薄膜における方位制御の検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 宇野武彦、野毛悟
  • 学会等名: 圧電材料・デバイスシンポジウム(No.A-1)
  • 発表場所: 仙台
  • 年月日: 2008-01-24
• [学会発表] Silica Based Superstructure Films on Piezoelectric Substrates for Light Amplification Use (2007)
  • 著者名/発表者名: Takahiko Uno, Satoru Noge, Kei Kasahara
  • 学会等名: 第28回超音波エレクトロニクスシンポジウム(No.2-04P-24)
  • 発表場所: つくば
  • 年月日: 2007-11-15
• [学会発表] Control of LiNbO_3 Thin Film Orientation by Crystal Contact Epitaxy (2007)
  • 著者名/発表者名: Takahiko Uno, Satoru Noge, Takehiko Adachi
  • 学会等名: 第28回超音波エレクトロニクスシンポジウム(No.2-01P-06)
  • 発表場所: つくば
  • 年月日: 2007-11-15
• [学会発表] Fabrication Technique of Single Crystal Thin Films on Silica Substrate (2007)
  • 著者名/発表者名: Takahiko Uno, Satoru Noge
  • 学会等名: 2007 International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies(No.IB-17I)
  • 発表場所: 長野
  • 年月日: 2007-06-20
• [図書] 圧電材料の高性能化と先端応用技術 (2008)
  • 著者名/発表者名: 監修・中村僖良、(著者 宇野武彦, 他分担執筆)
  • 総ページ数: 508
  • 出版者: サイエンス&テクノロジー株式会社