ディスポーザブルなマイクロマシン作製プロセス開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560349
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 大阪府立大学
• 研究代表者: 川田 博昭 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90186099)
• 研究分担者: 平井 義彦 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50285300)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 微細プロセス技術

研究概要

0.1mm程度以下の微小機械であるマイクロマシンの応用が拡大しているが, その作製プロセスは複雑であるため, 現状では付加価値の高い製品に限られている. 本研究では基板に構成部品を貼り付けていく移植法をマイクロマシン作製に適したプロセスに進化させ, さらに, プロセスの簡便化も進めて, 低コストでできるマイクロマシン作製プロセスを開発した. これによりディスポーザブルなマイクロマシンを作るための基本プロセスを確立した.

研究成果

• [雑誌論文] Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics vol.48(掲載決定)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Cantilever Fabrication by Force-Free Release Transfer (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics vol.47 ページ: 5248-5251
  • 査読あり
• [学会発表] カンチレバーを用いた超小型薄膜用膜厚モニター (2009)
  • 著者名/発表者名: 川田博昭
  • 学会等名: 地域発技術シーズ発表会(独立行政法人科学技術振興機構主催)
  • 発表場所: 大阪
  • 年月日: 2009-02-05
• [学会発表] Fabrication of cantilevers by two step transfer process without Lithography (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Ryugou, S. Kubo, H. Kawata, M. Yasuda and Y. Hirai
  • 学会等名: 2008 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2008)
  • 発表場所: Fukuoka(Japan)
  • 年月日: 2008-10-28
• [学会発表] Cantilever Fabrication by Force Free Release Transfer Process (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Kawata, K. Ryugou, M. Yasuda and Y. Hira
  • 学会等名: 2008 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2008)
  • 発表場所: Kyoto (Japan)
  • 年月日: 2008-10-28
• [学会発表] Cantilever fabrication by use of two step transfer printing process (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Kawata, K. Ryugou, S. Kubo, M. Yasuda and Y. Hirai
  • 学会等名: 34th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2008)
  • 発表場所: Athens (Greece)
  • 年月日: 2008-09-17
• [学会発表] 2段階移植法によるリソグラフィレスでのカンチレバー作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 川田博昭, 流郷謙一, 安田雅昭, 平井義彦
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 春日井
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発 (2008)
  • 著者名/発表者名: 流郷謙一, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦
  • 学会等名: センサー・マイクロマシン準部門総合研究会
  • 発表場所: 仙台
  • 年月日: 2008-06-13
• [学会発表] 離型力を要しない移植法によるカンチレバー作製 (2007)
  • 著者名/発表者名: 川田博昭、安田雅昭、平井義彦
  • 学会等名: 第68回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2007-09-05
• [学会発表] リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス (2007)
  • 著者名/発表者名: 川田博昭, 新甫純也, 安田雅昭, 平井義彦
  • 学会等名: センサー・マイクロマシン準部門総合研究会
  • 発表場所: 筑波
  • 年月日: 2007-07-02
• [備考] 報道発表日刊工業新聞, 「基板に微細構造作製」2009年2月19日
• [産業財産権] 材料パターンの製造方法, テンプレートおよびマイクロマシンの製造方法 (2008)
  • 発明者名: 川田博昭
  • 権利者名: 大阪府立大学
  • 産業財産権番号: 特願2008-151741
  • 出願年月日: 2008-06-10