透明導電膜を低仕事関数化し電子注入性を向上させた透明有機EL素子の検討

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560357
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 東京工芸大学
• 研究代表者: 内田 孝幸 東京工芸大学, 工学部, 教授 (80203537)
• 連携研究者: 関 成之 仙台電波工業専門学校, 助教 (50449378)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 透明有機EL / 透明陰極 / 低仕事関数 / 透明導電膜 / アルカリ金属

研究概要

有機ELに用いる陰極は通常、仕事関数の低い金属が有効とされている。この金属電極を、透明な電極に代えることで下側の基板方向からでなく、上部電極から光を取り出すことが可能になり、基板材料の選択の自由度や光取り出し面積が向上する。そこで、透明導電膜の作製プロセス中にアルカリ金属を加え、仕事関数が低く、かつ大気中で安定かつ電子注入性の高い透明導電膜を提案し、その有効性を示した。

研究成果

• [雑誌論文] Transparent conductive electrode deposited by Cs-incorporated RF magnetron sputtering and evaluation of the damage in OLED organic layer (2008)
  • 著者名/発表者名: Takayuki Uchida, Yoshihiro Kasahara, Toshio Otomo, Shigeyuki Seki, Meihan Wang and Yutaka Sawada
  • 雑誌名: Thin Solid Films 516 ページ: 5907-5910
  • 査読あり
• [雑誌論文] Transparent conductive film for top-emission organic light-emitting devices by low damage facing target sputtering (2008)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Onai, Takayuki Uchida, Yoshihiro Kasahara, Keisuke Ichikawa and Yoichi Hoshi
  • 雑誌名: Thin Solid Films 516 ページ: 5911-5915
  • 査読あり
• [雑誌論文] Study of Low Power Deposition of ITO for Top Emission OLED with Facing Target and RF sputtering Systems (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Dangtip, Y. Hoshi, Y. Kasahara, Y.Onai, T. Osotchan, Y. Sawada and T. Uchida
  • 雑誌名: Journal of Physics (conference series) 100,042011 ページ: 1-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Cs添加ITO透明陰極を用いたR, G, B透明有機EL素子の検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 笠原嘉浩、内田孝幸
  • 雑誌名: 日本学会誌 71巻, 1号 ページ: 31-34
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Organic Light -Emitting Devices with Indium-Tin-Oxide Anode Prepared by Spray Chemical Vapor Deposition (2007)
  • 著者名/発表者名: S. Seki, M. Wakana, Y. Kasahara, Y. Seki, T. Kondo, M. Wang, T. Uchida, K. Haga, Y. Sawada
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys Vol.46,No.10A ページ: 6837-6841
  • 査読あり
• [学会発表] アモルファスITO薄膜の加熱結晶化機構におよぼすスパッタ成膜時の水蒸気導入効果 (2009)
  • 著者名/発表者名: 王美涵、澤田豊、雷浩、星陽一、紺谷貴之、岸証、近藤剛史、関良之、内田孝幸
  • 学会等名: 応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-30
• [学会発表] rf-dc結合形スパッタビーム堆積法によるITO電極成膜時に有機EL層に与えるダメージの検討 (2009)
  • 著者名/発表者名: 雷浩、星陽一、王美涵、澤田豊、内田孝幸
  • 学会等名: 応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-30
• [学会発表] Evaluation of Area Uniformity for Luminance and Transmittance in Transparent OLEDs (2008)
  • 著者名/発表者名: Uchida Takayuki, Yahata Masahiro, Tamura Toru, Masakura Yuko, Satoh Toshifumi
  • 学会等名: 14th International Workshop on Inorganic and Organic Electroluminescence & 2008 International Conference on the Science and Technology of Emissive Displays and Lighting
  • 発表場所: Rome, Italy
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] 電子衝撃による有機EL層へのダメージの検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 雷浩、市川圭亮、王美涵、星陽一、内田孝幸、澤田豊
  • 学会等名: 応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 船橋日大
  • 年月日: 2008-03-27
• [学会発表] Krガスを用いた有機EL膜上へのITO薄膜の低ダメージスパッタ成膜 (2008)
  • 著者名/発表者名: 市川圭亮、雷浩、王美涵、内田孝幸、澤田豊、星陽一
  • 学会等名: 応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 発表場所: 船橋日大
  • 年月日: 2008-03-27
• [学会発表] Blue Flexible Transparent Organic Light Emitting Device (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Uchida, M. Wakana, M. Yahata, S. Dangtip, T. Osotchan, T. Satoh, Y. Sawada
  • 学会等名: International Symposium for Flexible Electronics and Display(ISFED)
  • 発表場所: Hsinchu, Taiwan
  • 年月日: 20071200
• [学会発表] Transparent conductive film for top emission organic light emitting devices and evaluation of damage to the organic layer caused by Cs incorporated RF magnetron sputtering (2007)
  • 著者名/発表者名: Yoshihiro Kasahara, Takayuki Uchida, Shigeyuki Seki, Toshio Otomo, Meihan Wang and Yutaka Sawada
  • 学会等名: 5th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics
  • 発表場所: Shonan Village Center, Kanagawa, Japan
  • 年月日: 20070500
• [学会発表] ransparent conductive film for top-emission organic light emitting devices by low damage facing target sputtering (2007)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Onai, Takayuki Uchida, Yoshihiro Kasahara, Keisuke Ichikawa, and Yoichi Hoshi
  • 学会等名: 5th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics
  • 発表場所: Shonan Village Center, Kanagawa, Japan
  • 年月日: 20070500
• [学会発表] 低ダメージスパッタ法による有機EL膜上へのITO膜の成膜 (2007)
  • 著者名/発表者名: 市川圭亮、尾内優介、内田孝幸、星陽一
  • 学会等名: 第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 北海道工業大
  • 年月日: 2007-09-04
• [学会発表] 新規なCs添加ITO透明導電膜の電子注入特性と成膜時における有機膜へのダメージの検討 (2007)
  • 著者名/発表者名: 笠原嘉浩、若菜誠、内田孝幸、関成之、王美涵、澤田豊、大友俊夫
  • 学会等名: 日本写真学会年次大会講演要旨
  • 発表場所: 千葉大
  • 年月日: 2007-05-24
• [図書] 「FPDの比較と製造プロセス」、~各種部材への要求特性と性能評価~、第1節有機ELディスプレイの構造・特徴・駆動方法、第2節素子構造と発光動作 (2008)
  • 著者名/発表者名: 内田孝幸(分担執筆)
  • 総ページ数: 303-313
  • 出版者: 情報機構
• [図書] 「有機EL技術開発の最前線」、-高輝度・高精細・長寿命化・ノウハウ集-、~材料/信頼性/量産/回路/大型化/フレキシブル化/視覚への影響~第3章、第3節フレキシブル青色有機EL素子のキャリア注入 (2008)
  • 著者名/発表者名: 内田孝幸(分担執筆)
  • 総ページ数: 67-76
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] 「有機EL技術開発の最前線」、-高輝度・高精細・長寿命化・ノウハウ集-、~材料/信頼性/量産/回路/大型化/フレキシブル化/視覚への影響~第4章、第3節有機EL透明導電膜の要求特性と作製方法、ボトム/トップエミッション、透明有機ELに用いるTCOs (2008)
  • 著者名/発表者名: 内田孝幸(分担執筆)
  • 総ページ数: 126-137
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] 「ラボレベル・研究初期で必要となる発光素子、発光デバイス開発のための基礎技術」~・装置・測定、評価法~、第6章有機EL開発のための基礎技術・装置・測定、評価法 (2008)
  • 著者名/発表者名: 内田孝幸(分担執筆)
  • 総ページ数: 125-156
  • 出版者: シーエムシー出版
• [図書] 「透明導電膜の新展開III」-ITOとその代替材料開発の現状-、第12章「有機EL用透明電極」 (2008)
  • 著者名/発表者名: 内田孝幸(分担執筆)
  • 総ページ数: 234-246
  • 出版者: シーエムシー出版
• [図書] 「最先端照明・光源技術全集」~材料・部材開発、デバイス設計、製造技術、色・光の測定、信頼性評価など~、第5章有機ELの照明ディスプレイ応用、第6節有機ELの効率向上と今後の展望 (2008)
  • 著者名/発表者名: 内田孝幸(分担執筆)
  • 総ページ数: 299-307
  • 出版者: 技術情報協会