2008 年度研究成果報告書

正弦波状波長走査光干渉法によるナノオーダ精度での3次元膜形状計測

研究課題

研究課題/領域番号	19560419
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	計測工学
研究機関	新潟大学
研究代表者	佐々木修己新潟大学, 自然科学系, 教授 (90018911)
研究分担者	鈴木孝昌新潟大学, 自然科学系, 教授 (40206496)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	光干渉 / 光波長走査 / 形状計測 / 信号推定
研究概要	厚さ0.001mm程度の非常に薄い膜の3次元形状を測定することは、微細構造をもつ電子デバイスの製造において重要なことあるが、容易に測定する方法がなかった。そこで、本研究では、光の波長が時間的に正弦波状に変化するレーザ光源を構築し、この波長走査光源を用いた干渉計で得られる干渉信号をコンピュータ内に取り込み、複雑な反復的演算処理を行うことによって、0.000001mm(ナノメータ)の正確さで膜形状を3次元的に測定することができた。