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弾性表面波センサに限らず化学センサにおいては、感応膜は非常に重要な要素である。一般に特定の物質を識別するためには複数のセンサを並べ、それぞれのセンサの出力をパターン化する方法が用いられる。本研究では、弾性表面波デバイスの特微である同一平面に複数のセンサを並べ、その各々に特別の感応膜を塗布し、ガスの化学種の検出能力を高めることを目的にしている。
本年度は、決められた非常に狭い位置に正確に、しかも複数の感応膜を同時に塗布する方法を検討した。具体的には、分子膜を作るために開発されたLB膜法を応用した「簡易LB膜法」を開発し、感応膜のための分子膜の製作とそれを複数同時に行う方法を提案した。実験では、本方法により4種類の感応膜を2mm四方の大きさで(部分キャストと云う)、同時に塗布することが出来た。また本方法によれば、数層の分子膜が簡単に製作できることが分かった。
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