研究課題
基盤研究(C)
SAWデバイスを利用したマルチチャネルセンサの構成とそのガスセンシングへの応用について示す。化学特にガスセンサでは、複数のセンサの応答よりガスの識別を行う。本研究では、同一基板に複数のSAW遅延線を並べ、入力には一個のドッグレッグIDTを用いたセンサアレイによるガスセンシングについて提案した。このセンサアレイと増幅器による自励発振器を構成したセンサシステムでは、自動的に温度補償が行え、チャネル間のクロストークも小さいことが分かった。また、ガスセンサに重要な感応膜の塗布に、簡易LB膜法を用いることにより、センサアレイの各チャネルの微小な部分に正確に再現性よく塗布することができた。応用では、このセンサを有機ガスの識別に適用し、いくつかのサンプルガスに対し、ユニークな応答パターンを得た。
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Materials and Devices for Smart Systems III, (MRS Symposium Proceedings)(Boston) Vol.1129
Proceedings of the 2008 IEEE International Frequency Control Symposium, Hawaii
ページ: 526-531
Sensors & Transducers Journal Vol.90
ページ: 61-71
超音波テクノ Vol.20, No.3
ページ: 72-75
Proceedings of the 2007 IEEE International Frequency Control Symposium, Geneva
ページ: 25-30
of the Second International Conference on Sensing Technology, New Zealand
ページ: 182-187
