ネイティブドナーアモルファス及びホモロガス透明導電性酸化物のドーパント添加効果

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560677
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 無機材料・物性
• 研究機関: 徳島大学
• 研究代表者: 森賀 俊広 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (90239640)
• 研究分担者: 村井 啓一郎 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 講師 (60335784)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 透明導電膜 / アモルファス / ブルーシフト / ドーパント

研究概要

種々の条件下でPC及びPET基板上にZnO-In_2O_3系アモルファス透明導電膜を作製した。GaやAl等のドーパントを用いることで、(1)ガラス基板上に作製したアモルファス薄膜に匹敵する低い抵抗率の膜を製膜すること、(2)基礎吸収端の位置を僅かではあるが短波長側にシフトさせ、光学窓をより大きくとることが可能となった。

研究成果

• [雑誌論文] Structural analysis of homologous series of Zn_kIn2O_<k+3>(k=3, 5, 7) and ZnkInGaOk+3 (k=1, 3, 5) (2009)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Moriga, Katsuya Ishida, Koji Yamamoto, Atsushi Yoshinari and Kei-ichiro Murai
  • 雑誌名: Materials Research Innovations Vol.13, No.3 ページ: 1-5
  • 査読あり
• [雑誌論文] Crystal and electronic band structures of homologous compounds Zn_kIn_2O_<k+3> by Rietveld analysis and first-principle calculation (2008)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Yoshinari, Katsuya Ishida, Kei-ichiro Murai and Toshihiro Moriga
  • 雑誌名: Materials Research Bulletin Vol.44 ページ: 432-436
  • 査読あり
• [雑誌論文] The properties of transparent conductive In-Ga-Zn oxide films produced by pulsed laser deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: Kenichi Inoue, Kikuo Tominaga, Takashi Tsuduki, Michio Mikawa and Toshihiro Moriga
  • 雑誌名: Vacuum Vol.83 ページ: 552-556
  • 査読あり
• [雑誌論文] Influence of Ga_2O_3 addition on transparent conductive oxide films of In_2O_3-ZnO (2008)
  • 著者名/発表者名: Kikuo Tominaga, Daisuke Takada, Koji Shimomura, Hiroshi Suketa, Keisuke Takita, Kei-ichiro Murai and Toshihiro Moriga
  • 雑誌名: Vacuum Vol.83 ページ: 561-563
  • 査読あり
• [雑誌論文] In_2O_3-ZnO transparent conductive oxide film deposition on polycarbonate substrates (2008)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Moriga, Koji Shimomura, Daisuke Takada, Hiroshi Suketa, Keisuke Takita, Kei-ichiro Murai and Kikuo Tominaga
  • 雑誌名: Vacuum Vol.83 ページ: 557-560
  • 査読あり
• [学会発表] Zn-In-Ga-O系ホモロガス化合物のAl置換がもたらす結晶構造と熱電性能の変化 (2009)
  • 著者名/発表者名: 山本紘士, 吉成篤史, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • 学会等名: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • 年月日: 20090100
• [学会発表] 対向ターゲット式DCマグネトロンスパッタリング法によりPET基板上に作製した酸化亜鉛-酸化インジウム系透明導電膜 (2009)
  • 著者名/発表者名: 渡邊隆之, 丸尾洋一, 坂本晃彦, 植野貴大, 河村亮輔, 富永喜久雄, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • 学会等名: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • 年月日: 20090100
• [学会発表] Zn-In-Ga-O系ホモロガス化合物の構造変化と熱電特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 吉成篤史, 山本紘士, 石田勝也, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • 学会等名: 日本セラミックス協会第21回秋期シンポジウム
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] PLD法により石英基板上へ作製したIn-Ga-Zn系酸化物透明導電性薄膜の特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 續木隆志, 富永喜久雄, 丸山貴之, 三河通男, 森賀俊広
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] PC基板上へのIn2O3-ZnO系酸化物透明導電膜の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 下村幸司, 富永喜久雄, 高田大輔, 助田祐志, 瀧田啓介, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • 学会等名: 平成19年度電気関係学会四国支部連合大会講演予稿集
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] In_2O_3-ZnO系酸化物透明導電膜へのGa_2O_3添加による影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: 坂本晃彦, 富永喜久雄, 下村幸司, 瀧田啓介, 森賀俊広, 中林一朗
  • 学会等名: 平成19年度電気関係学会四国支部連合大会講演予稿集
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] 不純物添加によるIn-Zn-O系酸化物透明導電膜の特性への影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: 井上研一, 富永喜久雄, 續木貴志, 三河道男, 森賀俊広
  • 学会等名: 平成19年度電気関係学会四国支部連合大会講演予稿集
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] Structural Analysis of Homologous Series of Zn_k(In, Ga)_2O_<k+3> (k=1, 3, 5) as Thermoelectric and Transparent Conducting Materials (2008)
  • 著者名/発表者名: Toshihiro Moriga, Atsushi Yoshinari, Koji Yamamoto, Katsuya Ishida and Kei-ichiro Murai
  • 学会等名: 2nd International Conference on Functional Materials and Devices
  • 発表場所: Kuala Lumpur([invited lecture])
  • 年月日: 20080600
• [学会発表] In_2O_3-ZnO系酸化物透明導電膜へのGa_2O_3添加の影響(Vol.2) (2008)
  • 著者名/発表者名: 坂本晃彦, 富永喜久雄, 下村幸司, 植野貴大, 瀧田啓介, 渡辺隆之, 森賀俊広, 中林一朗
  • 学会等名: 第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • 年月日: 20080300
• [学会発表] PLD法によるIn-Ga-Zn系酸化物透明導電性薄膜 (2008)
  • 著者名/発表者名: 續木貴志, 富永喜久雄, 井上研一, 三河通男, 森賀俊広, 中林一朗
  • 学会等名: 第55回応用物理学関係連合講演会
  • 年月日: 20080300
• [学会発表] Zn-In-Ga-O系層状ホモロガス化合物の結晶構造解析および熱電性能評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 石田勝也, 山本紘士, 吉成篤史, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • 学会等名: 第46回セラミックス基礎科学討論会
  • 年月日: 20080100
• [学会発表] PC基板上に製膜した酸化亜鉛-酸化インジウム系アモルファス薄膜へのAlドーピングによる特性向上 (2008)
  • 著者名/発表者名: 瀧田啓介, 渡邊隆之, 下村幸司, 富永喜久雄, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • 学会等名: 第46回セラミックス基礎科学討論会
  • 年月日: 20080100
• [備考] 森賀俊広 : 酸化亜鉛-酸化インジウム系アモルファス透明導電膜, 第3回産・官・学研究マッチング -夢の融合 中国四国エリアのセラミックス技術-, 2008年8月
• [備考] 森賀俊広 : ITO枯渇時代における新しい透明導電膜材料, -酸化亜鉛-酸化インジウム系ホモロガス化合物とIZOアモルファス薄膜-, 情報機構セミナー, 2008年5月