磁歪材料薄膜の磁歪感受率制御に関する研究

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560709
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 構造・機能材料
• 研究機関: 東海大学
• 研究代表者: 松村 義人 東海大学, 工学部, 教授 (60239085)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: 磁歪感受率 / 磁歪材料薄膜 / 鉄 / IIIA族元素 / 過飽和固溶体 / イオン / 運動量 / 内部応力

研究概要

(1)Ar-N_2やAr-CH_4混合ガスを用いて作製したSm-Fe超磁歪薄膜は、高い磁歪感受率を示した。
(2)イオンプレーティング法を用いてFe-In(Fe-Inは非固溶型の系)過飽和固溶体薄膜を作製した。
(3)Tb-FeとSm-Fe薄膜の磁歪特性に及ぼすイオン衝撃の影響をイオンの運動量を用いて定量的に評価した。イオン衝撃パラメータP_iは磁歪薄膜の磁歪感受率の制御と特性向上に用いることができる。

研究成果

• [雑誌論文] ion momentum as a novel parameter for the preparation of the magnetostrictive thin film (2009)
  • 著者名/発表者名: Koji Makita, Yoshihito Matsumura, et al.
  • 雑誌名: Applied Surface Science vol.256 ページ: 1265-1267
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Excess Energy with Plasma Process on Nanostructure of Fe-Mg (2009)
  • 著者名/発表者名: Kiyoshi Shinobe、Yoshihito Matsumura, et al.
  • 雑誌名: e-Journal of Surface Science and Nanotechnology vol.7 ページ: 855-858
  • 査読あり
• [雑誌論文] Magnetostrictive Characteristics of Fe-IIIB Alloy Thin Film by Ion-Plating Process (2009)
  • 著者名/発表者名: Sho Nakamura、Yoshihito Matsumura, et al.
  • 雑誌名: e-Journal of Surface Science and Nanotechnology vol.7 ページ: 801-803
  • 査読あり
• [雑誌論文] 超磁歪材料のSm-Fe/Sm-Fe-C-N層状構造が磁歪特性に及ぼす影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: ジャマディル・アズワッド、松村義人, 他
  • 雑誌名: 日本金属学会誌 72巻 ページ: 777-779
  • 査読あり
• [雑誌論文] イオンプレーティング法によるFe-Mg合金薄膜の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 篠辺潔、松村義人, 他
  • 雑誌名: 日本金属学会誌 72巻 ページ: 719-721
  • 査読あり
• [雑誌論文] 超磁歪材料薄膜の磁歪特性に及ぼすイオン衝撃の影響 (2008)
  • 著者名/発表者名: 蒔田晃司、松村義人, 他
  • 雑誌名: 日本金属学会誌 72巻 ページ: 714-718
  • 査読あり
• [学会発表] Ion bombardment effects on internal stress of sputtered thin film、10th Int. Sympo (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Makita、Y.Matsumura, et al.
  • 学会等名: on Sputtering and Plasma Process
  • 発表場所: 金沢国際ホテル
  • 年月日: 2009-07-10
• [学会発表] Magnetostrictive Characteristics Comparison of Sm-Fe-C and Sm-Fe-N Thin Films Formed by Reactive Sputtering Process (2008)
  • 著者名/発表者名: K.Shinobe、Y.Matsumura, et al.
  • 学会等名: 11th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR2008)
  • 発表場所: Bremen, Germany
  • 年月日: 2008-06-16
• [学会発表] イオンプレーティング法の二元蒸着により組成制御したFe-Ga合金薄膜の磁歪特性 (2007)
  • 著者名/発表者名: 中村翔、松村義人, 他
  • 学会等名: 日本金属学会2007年秋期大会
  • 発表場所: 岐阜大学
  • 年月日: 2007-09-20