超小型・超省電力磁気センサのための金属-絶縁体ナノグラニュラーTMR材料の開発

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560715
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 構造・機能材料
• 研究機関: (財)電気磁気材料研究所
• 研究代表者: 小林 伸聖 (財)電気磁気材料研究所, 研究開発事業部・電磁気材料グループ, 主席研究員 (70205475)
• 研究分担者: 白川 究 (30133614)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: 磁性薄膜 / 磁気抵抗効果 / グラニュラー / 高電気抵抗 / 省電力

研究概要

次世代高性能省電力磁気センサであるGIGSに用いられる金属-絶縁体ナノグラニュラーTMR膜の高性能化を目的とし、膜組成、作製条件、および膜構造のTMRに及ぼす影響を詳細に検討した。その結果、以下の成果を得た。1)新組成系であるFeCo-(Si)-AlF系膜のTMRの加熱に対する挙動は、良好な耐熱性を示す。2)加熱基板上に作製した膜は、良好な耐熱性を示し、弱磁界でTMRの大きな磁界感度を有する。3)微量Siを含む膜は、加熱による構造変化が抑制され、そのためにTMRの良好な耐熱性を示すことが明らかになった。

研究成果

• [雑誌論文] Metal-insulator Type Nano-granular Magnetic Thin Films-Soft Magnetic Properties, TMR Effect and Their Applications- (2009)
  • 著者名/発表者名: S. Ohnuma, N. Kobayashi, H. Fujimori, T. Masumoto
  • 雑誌名: Journal of Physics, Conference Series 191 ページ: 012020
  • 査読あり
• [学会発表] FeCo-Si-AlF系ナノグラニュラーtmr膜のナノ構造解析 (2010)
  • 著者名/発表者名: 小林伸聖、着本享、斉藤光浩、王中長、谷林、荒井賢一、幾原雄一、増本健
  • 学会等名: 日本金属学会第146大会
  • 発表場所: 筑波
  • 年月日: 20100300
• [学会発表] (Fe, Co)-Mg-FナノグラニュラーTMR薄膜のナノ構造解析 (2009)
  • 著者名/発表者名: 小林伸聖、鶴井隆雄、大沼繁弘、増本健
  • 学会等名: 日本金属学会第145大会
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 20090900
• [学会発表] FeCo-Si-AlFナノグラニュラー膜のTMRと耐熱性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 小林伸聖、大沼繁弘、藤森啓安、増本健
  • 学会等名: 日本磁気学会第32回大会
  • 発表場所: 多賀城
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] ナノグラニュラーCo-Ti-O膜の磁気特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 大沼繁弘、岩佐忠義、小林伸聖、増本健
  • 学会等名: 日本磁気学会第32回大会
  • 発表場所: 多賀城
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] アモルファスCoFeSiB軟磁性薄膜の高周波キャリア型磁界センサへの適用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 小林伸聖、薮上信、大友祐一、白川究、荒井賢一
  • 学会等名: 日本磁気学会第32回大会
  • 発表場所: 多賀城
  • 年月日: 20080900
• [学会発表] FeCo-AlF系ナノグラニュラー膜のTMRと熱的安定性 (2007)
  • 著者名/発表者名: 小林伸聖、大沼繁弘、藤森啓安、増本健
  • 学会等名: 第31回日本応用磁気学
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 20070900
• [学会発表] (Fe-Co)-(Mg-F)ナノグラニュラー膜のtm rの耐熱性および磁界感度の改善 (2007)
  • 著者名/発表者名: 小林伸聖、大沼繁弘、藤森啓安、増本健
  • 学会等名: 日本金属学会第142大会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 20070300