| 研究課題/領域番号 |
19560717
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| 研究機関 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 |
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研究代表者 |
山本 春也 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (70354941)
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| 研究分担者 |
高野 勝昌 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 博士研究員 (80414572)
杉本 雅樹 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 研究副主幹 (90354943)
吉川 正人 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 研究主幹 (40354948)
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| キーワード | 水素 / 酸化タングステン / 薄膜 / イオンビーム |
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| 研究概要 |
Pt等の金属触媒を介して水素ガスに触れると濃青に着色(ガスクロミズム)する三酸化タングステン(WO_3)の着色性能と結晶構造等の関係を調べ、ガスクロミック水素センサー材料の開発を目指して研究を進めた。本年度は、スパッタリング法及びパルスレーザー蒸着法によりWO_3薄膜の作製し、1.WO_3膜の結晶構造と水素ガスによる着色性能。2.着色時のWO_3膜中の水素挙動について調べた。
1.アルゴンと酸素の混合ガス用いたスパッタリング法によりSiO_2基板上に基板温度(400〜600℃)を制御して、成長方向に一軸配向した柱状結晶から成るWO_3薄膜(厚さ:300nm)を形成した。WO_3薄膜の一軸配向性が高くなるとともに、水素による着色性能が向上することを見出した。さらに、パルスレーザー蒸着法により薄膜形成を行った結果、基板温度を500℃以上に保持することによりα-Al_2O_3R-面基板上に単斜晶WO_3(001)単結晶薄膜の作製に成功した。WO_3単結晶薄膜の結晶性と水素による着色性
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