沿面放電法による薄膜のダイレクトパターニング

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19560725
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 静岡大学
• 研究代表者: 奥谷 昌之 静岡大学, 工学部, 准教授 (00293605)
• 研究分担者: 村上 健司 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (30182091)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 沿面放電 / プラズマ / ダイレクトパターニング / 酸化亜鉛 / 薄膜

研究概要

本研究では平面プラズマを利用したナノ構造物の形成および薄膜のダイレクトパターニング形成を試みる。プラズマは局所的に平面状に照射させることができ、基板自体は加熱されない特徴があるため、プラスチック等の低融点基板への適用も可能である。具体的には、有機・無機金属塩やコロイドをテンプレート用基板に塗布後、放電電極と重ねてプラズマを照射することで、照射部分のみを結晶化させる。未反応部分を水で洗浄後、電極と同じパターン化された膜が残留してダイレクトパターニング製膜が完成する。

研究成果

• [雑誌論文] Comparative Evolved Gas Analyses of Crystalline and Amorphous Titanium (IV) oxohydroxo- acetylacetates by TG-FTIR and TG/DTA-MS (2009)
  • 著者名/発表者名: J.Madarasz、S.Kaneko、M.Okuya、G.Pokol
  • 雑誌名: Thermochemica Acta Vol.489 ページ: 37-44
• [雑誌論文] Photocatalytic Ability of TiO_2 Porous Film Prepared by Modified Spray Pyrolysis Deposition Technique (2009)
  • 著者名/発表者名: O.Sugiyama、M.Okuya、S.Kaneko
  • 雑誌名: J. Ceram. Soc. Jpn. Vol.117 ページ: 203-207
  • 査読あり
• [雑誌論文] Preparation of SnO_2 Transparent Conducting Films for Dye-Sensitized Solar Cells by SPD Technique (2008)
  • 著者名/発表者名: M.Okuya、 K.Ohashi、T.Yamamoto、J.Madarasz
  • 雑誌名: Electrochemistry Vol.76 ページ: 132-135
  • 査読あり
• [雑誌論文] ITO thin films prepared by a microwave heating (2007)
  • 著者名/発表者名: M.Okuya、N.Ito、K.Shiozaki
  • 雑誌名: Thin Solid Films Vol.515 ページ: 8656-8659
  • 査読あり
• [雑誌論文] TG/DTA-EGA-MS studies on titania precursors with low content of organics for porous thin films of TiO_2 (2007)
  • 著者名/発表者名: J.Madarasz、M.Okuya、P.Varga、S.Kaneko、G.Pokol
  • 雑誌名: J. Anal. Appl. Pyrol Vol.79 ページ: 479-483
  • 査読あり
• [雑誌論文] Preparation of oxide films by surface discharge technique (2007)
  • 著者名/発表者名: Y.Sonohara、Y.Shibayama、K.Kusama、M.Okuya
  • 雑誌名: Proc. The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics ページ: 445-448
• [雑誌論文] ITO thin film prepared by a microwave heating (2007)
  • 著者名/発表者名: K.Shinohara、K.Shiozaki、M.Okuya
  • 雑誌名: Proc. The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics ページ: 449-452
• [学会発表] 沿面プラズマによる常温大気圧下での酸化物薄膜のダイレクトパターニング (2009)
  • 著者名/発表者名: 柴山, 他
  • 学会等名: 第56回応用物理学関連連合講演会
  • 発表場所: 筑波大
  • 年月日: 20090330-0402
• [学会発表] TG-FTIR およびTG/DTA-MSによる結晶及びアモルファスのチタン(IV)オキソアセチルアセテートの熱分解反応に関する考察 (2009)
  • 著者名/発表者名: Madarasz, 他
  • 学会等名: 日本化学会第89回春季年会
  • 発表場所: 日大船橋
  • 年月日: 20090327-30
• [学会発表] コプラナー型プラズマ電極の最適化と酸化物薄膜の形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 柴山, 他
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2009年年会
  • 発表場所: 東理大
  • 年月日: 20090316-18
• [学会発表] 沿面プラズマによる酸化物薄膜の作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 奥谷
  • 学会等名: 静岡大学薄膜基板研究懇話会第12回研究発表会
  • 発表場所: 浜松
  • 年月日: 20090205-06
• [学会発表] マイクロ波加熱による透明導電性薄膜の作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 高橋, 他
  • 学会等名: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • 発表場所: 大阪
  • 年月日: 20090108-09
• [学会発表] コプラナープラズマ放電による酸化物薄膜の形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 柴山, 他
  • 学会等名: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • 発表場所: 大阪
  • 年月日: 20090108-09
• [学会発表] コプラナー放電による酸化物薄膜の形成 (2008)
  • 著者名/発表者名: 柴山, 他
  • 学会等名: 日本セラミックス協会第21回秋季シンポジウム
  • 発表場所: 北九州
  • 年月日: 20080913-19
• [学会発表] Preparation of ZnO films by a coplanar plasma discharge technique (2008)
  • 著者名/発表者名: Shibayam, 他
  • 学会等名: IUMRS-ICA 2008
  • 発表場所: Nagoya、Japan
  • 年月日: 20080912-13
• [学会発表] ZnO thin film prepared by a microwave heatinge (2008)
  • 著者名/発表者名: Takahashi, 他
  • 学会等名: IUMRS-ICA 2008
  • 発表場所: Nagoya、Japan
  • 年月日: 20080912-13
• [学会発表] 沿面放電による常温大気圧下での酸化物薄膜のダイレクトパターンニング (2008)
  • 著者名/発表者名: 鹿谷, 他
  • 学会等名: 2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大
  • 年月日: 20080902-05
• [学会発表] 沿面放電による酸化物薄膜の大気圧低温形成 (2008)
  • 著者名/発表者名: 園原, 他
  • 学会等名: 2008 年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 日大船橋
  • 年月日: 20080327-30
• [学会発表] 沿面放電の制御と酸化物薄膜の低温形成への応用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 園原, 他
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2008年年会
  • 発表場所: 長岡技大
  • 年月日: 20080320-22
• [学会発表] ITO thin film prepared by a microwave heating (2007)
  • 著者名/発表者名: Shinohara, 他
  • 学会等名: The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics
  • 発表場所: Kakegawa、Japan
  • 年月日: 20071120-23
• [学会発表] Preparation of oxide films by surface discharge technique (2007)
  • 著者名/発表者名: Sonohara, 他
  • 学会等名: The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics
  • 発表場所: Kakegawa、Japan
  • 年月日: 20071120-23
• [学会発表] 沿面放電を利用した酸化物透明導電膜の作製 (2007)
  • 著者名/発表者名: 園原, 他
  • 学会等名: 日本セラミックス協会第20回秋季シンポジウム
  • 発表場所: 名工大
  • 年月日: 20070912-14
• [学会発表] マイクロ波加熱による薄膜作製 (2007)
  • 著者名/発表者名: 篠原, 他
  • 学会等名: 日本セラミックス協会関東支部第23回研究発表会
  • 発表場所: 山梨
  • 年月日: 20070830-31
• [図書] 色素増感太陽電池の最新情報 II 基礎編 第4章色素増感太陽電池の導電性基板(2) (2007)
  • 著者名/発表者名: 奥谷, 他
  • 総ページ数: 35-41
  • 出版者: (株)シーエムシー
• [備考]
  • URL: http://www.h4.dion.ne.jp/~okuya/
• [産業財産権] 溶液層の処理方法 (2007)
  • 発明者名: 八木績、奥谷昌之
  • 権利者名: 株式会社河合楽器製作所
  • 産業財産権番号: 特願2007-232212
  • 出願年月日: 2007-09-07
• [産業財産権] 透明導電層の形成方法及び積層構造体の形成方法 (2007)
  • 発明者名: 八木績、奥谷昌之
  • 権利者名: 株式会社河合楽器製作所
  • 産業財産権番号: 特願2007-210769
  • 出願年月日: 2007-08-13