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2008 年度 実績報告書

Si(001)基板上での傾斜(111)面と単分子層を利用した薄膜形成

研究課題

研究課題/領域番号 19569003
研究機関富山大学

研究代表者

斉藤 光史  富山大学, 地域連携推進機構・産業連携部門, 研究員 (70452092)

キーワードInSb / Si / ヘテロエピタキシャル成長 / MBE
研究概要

半導体として最も広く利用されているSi基板上で、高速低消費電力デバイスへの応用が期待される化合物半導体InSbの薄膜を品質良く形成し、更にデバイスの試作を目的とした。
前年度、Si(111)基板上でのInSb単分子層を介したAl InSb薄膜の形成についての実現可能性を示すことができた。本年度は良好なAl InSb薄膜形成、及び、それを利用したSi基板上でのトランジスタ試作を目指した。Al_xIn_<(1-x)>Sb薄膜のAl組成xが大きくなるにつれ、より高い成長温度が必要とされるため、我々のInSb単分子層を介して成長させる手法は適応が難しくなる。しかし、詳細な成長条件設定を行い、x=0〜0.65の範囲で良好な結晶性を持つ薄膜を得た。これは特別に厚い緩衝層を用いず、Si基板上へAl InSbの良好な薄膜を形成できたという点において他に類をみない。これを応用して、トランジスタ構造の試作も行った。結果、半絶縁層としてのAl InSb層において正孔密度が大きくなっており、これが原因でデバイス動作を得られなかった。しかし、この積層構造に対するX線回折評価によると、その結晶性は非常に良いことが確認されている。デバイス動作を実現するためには、Siと上部層間の界面における欠陥等について更なる検討が必要である。
並行して、上記の成果をSi(001)基板上でも利用するために、Si(001)基板上での傾斜(111)面の作製及び、その傾斜面上へのInSb薄膜形成について実験を行った。通常(001)基板上では多結晶成長してしまうInSb薄膜について、傾斜(111)面を用いることでエピタキシャルなInSb薄膜を得た。この結果と前述の成果を合わせることで、Si(001)基板上でもInSb単分子層を用いた高品質薄膜の形成及び、そのデバイス利用についての実現可能性が示した。

  • 研究成果

    (15件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (12件)

  • [雑誌論文] High quality InSb films grown on Si(111) substrate via InSb bi-layer2009

    • 著者名/発表者名
      Masayuki MORI
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nano Technology Vol. 7

      ページ: 145-148

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of In and Sb monolayers to form rotated InSb films on Si(111) substrate2008

    • 著者名/発表者名
      Mitsufumi SAITO
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 254

      ページ: 6052-6054

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Heteroepitaxial InSb films grown via Si(111)-√7×√3-In surface reconstruction2008

    • 著者名/発表者名
      Masayuki MORI
    • 雑誌名

      Physica status solidi (c) Vol. 5

      ページ: 2772-2774

    • 査読あり
  • [学会発表] V字型の(111)面パターンを形成したSi(100)基板上へのInSb薄膜のヘテロエピタキシャル成長2009

    • 著者名/発表者名
      岩杉 達矢
    • 学会等名
      春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      茨城県つくば市・筑波大学筑波キャンパス
    • 年月日
      2009-04-02
  • [学会発表] InSb単分子層を介したSi(111)基板上のInSb薄膜のヘテロエピタキシャル成長2008

    • 著者名/発表者名
      上田 広司
    • 学会等名
      平成20年度応用物理学会 北陸・信越支部学術講演会
    • 発表場所
      石川県石川郡野々市・金沢工業大学
    • 年月日
      2008-11-22
  • [学会発表] V字型の(111)面パターンを形成したSi(100)基板上へのInSb薄膜のヘテロエピタキシャル成長2008

    • 著者名/発表者名
      岩杉 達矢
    • 学会等名
      平成20年度応用物理学会 北陸・信越支部学術講演会
    • 発表場所
      石川県石川郡野々市・金沢工業大学
    • 年月日
      2008-11-22
  • [学会発表] Heteroepitaxial growth of InSb films on V-grooved Si(001) substrate2008

    • 著者名/発表者名
      Masayuki MORI
    • 学会等名
      5^<th> Internetional Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-5)
    • 発表場所
      Waseda University, Tokyo, Japan
    • 年月日
      2008-11-12
  • [学会発表] Inprovement of rotated InSb films by additional In adsorption onto initial InSb bi-layer2008

    • 著者名/発表者名
      Mitsufumi SAITO
    • 学会等名
      8^<th> Japan-Russia Seminar on Semiconductor Surfaces (TRSSS-8)
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai, Japan
    • 年月日
      2008-10-21
  • [学会発表] High quality InSb films grown on Si(111) substrate via InSb bi-layer2008

    • 著者名/発表者名
      Masayuki MORI
    • 学会等名
      8^<th> Japan-Russia Seminar on Semiconductor Surfaces (TRSSS-8)
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai, Japan
    • 年月日
      2008-10-21
  • [学会発表] Heteroepitaxial growth of rotated AlInSb layer mediated by InSb bi-layer on Si(111) substrate2008

    • 著者名/発表者名
      Mitsufumi SAITO
    • 学会等名
      35^<th> International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS2008)
    • 発表場所
      Europa-Park, Rust, Germany
    • 年月日
      2008-09-23
  • [学会発表] InSb単分子層を介したSi(111)基板上のAlInSb薄膜のヘテロエピタキシャル成長2008

    • 著者名/発表者名
      中谷 公彦
    • 学会等名
      秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛知県春日井市・中部大学春日井キャンパス
    • 年月日
      2008-09-04
  • [学会発表] (111)面パターンを形成したSi(100)基板上へのInSb薄膜のヘテロエピタキシャル成長2008

    • 著者名/発表者名
      五十嵐 弘樹
    • 学会等名
      秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛知県春日井市・中部大学春日井キャンパス
    • 年月日
      2008-09-04
  • [学会発表] Heteroepitaxial growth of InSb films on a Si(111) substrate via InSb bi-layer2008

    • 著者名/発表者名
      Masayuki MORI
    • 学会等名
      15^<th> International Conference on Molecular Beam Epitaxy (MBE2008)
    • 発表場所
      Univ. of British Columbia, Vancouver, Canada
    • 年月日
      2008-08-04
  • [学会発表] Si(111)基板上での30°回転InSb薄膜層形成に対するIn及びSb層の効果2008

    • 著者名/発表者名
      斉藤 光史
    • 学会等名
      電気通信学会 電子デバイス研究会
    • 発表場所
      石川県金沢市・金沢大学角間キャンパス
    • 年月日
      2008-06-14
  • [学会発表] Si(111)-√7×√3-In再構成構造を介したInSb薄膜のヘテロエピタキシャル成長2008

    • 著者名/発表者名
      森 雅之
    • 学会等名
      電気通信学会 電子デバイス研究会
    • 発表場所
      石川県金沢市・金沢大学角間キャンパス
    • 年月日
      2008-06-14

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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