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2007 年度 実績報告書

プラズマ溶液科学の創生

研究課題

研究課題/領域番号 19654087
研究機関埼玉大学

研究代表者

白井 肇  埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (30206271)

研究分担者 山納 康  埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (30323380)
キーワード溶液化学 / 大気圧マイクロプラズマジェット / プラズマ電気化学 / 電気泳動 / その場観測
研究概要

本研究は,各種溶液を電極とした大気圧グロー放電の生成を行い,発光分光法(OES),溶液のpH(=-Iog[H+])および分光エリプソメトリー(SE)による実時間その場診断を通してプラズマ生成機構と溶液物理化学との関連を考察した。特に各種電解質溶液を対向電極とした空気およびArプラズマ生成に対して溶液構成元素の発光強度,電子密度,自己バイテス:V_<self>および溶液のpH変化に着目した。その結果電解質溶液を対向電極とした大気圧プラズマ生成では,従来の溶液スパッタリング,蒸発に加えて,溶液のプロトン濃度に依存した2次電子放出過程がプラズマ生成に関与していることが分かった。特に平成19年度は,プラズマ状態の等価回路による考察および溶液pHと伝導度がプラズマ生成に及ぼす効果につて検討した。プラズマインピーダンスは,これまでの溶液pH<2.5および10-13領域とそれ以外で顕著な相違を示した。さらに溶液の抵抗率はプラズマ生成に及ぼす効果について各種溶液を用いて調べた。塩,強酸,弱酸としてNaCl,HCl,CH3COOHを選択し,溶液伝導度とプラズマ発光,電子密度の関連を考察した。その結果各種溶液に対して伝導率:0.5S/cm前後で発光強度が極小値を示し,その前後で増大する傾向を示した。伝導率:0.5S/cm以上の濃度領域では,電子密度の増大に伴い発光強度は増大する。一方0.5S/cm以下の領域においては,プラズマ域では,の温度上昇にともなう発光強度の増大が見られた。この要因を塩,強酸,弱酸溶液内のイオンの水和状態および移動度の相違に基づいだモデルを提案した。さらにプラズマ照射により正イオンの照射により表面近傍にカソード電極層が形成されることで電気2重層が形成され,バルク溶液中の負イオンが電気泳動によりカソード表面に輸送され、放出される可能性を示した。実時間紫外・SEおよびポッケル素子を用いた表面電荷計測から大気圧プラズマー溶液界面に電気泳動による吸収層の存在を明らかにした。これらの要因には,プラズマ-溶液界面における電気2重層の形成,電気泳動等の効果が揚げられる。

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (1件) 図書 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] 大気圧マイクロ熱プラズマジェットによる非晶質Si薄膜の短時間結晶化2007

    • 著者名/発表者名
      白井 肇, 桜井 祐介, 呂 民雅, 小林 知洋
    • 雑誌名

      プラズマ応用科学 15

      ページ: 53-60

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Physicochemistry of the plasma-electrolyte solution interface2007

    • 著者名/発表者名
      Q. Cheng, K. Saito, and H. Shirai
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (On line)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microplasma discharge within ethanol solution: Characterization and its application to the synthesis of carbon microstructures

    • 著者名/発表者名
      Q. Cheng, K. Saito, T. Kitamura, and H. Shirai
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (On line)

    • 査読あり
  • [学会発表] プラズマ溶液界面反応の診断2007

    • 著者名/発表者名
      Q. cheng, K. Saito, and H, Shirai
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20070900
  • [図書] マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用2007

    • 著者名/発表者名
      監修:橘 邦英, 寺潟 和夫 白井 肇(分担)
    • 総ページ数
      329
    • 出版者
      シーエムシー出版
  • [産業財産権] 特許2008

    • 発明者名
      白井 肇
    • 権利者名
      埼玉大学
    • 産業財産権番号
      特願2008-041445
    • 出願年月日
      2008-02-22

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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