研究概要 |
現在のシリコンテクノロジーが超高純度単結晶の作製技術の進展とともに大きく花開いたのに対して,次世代エレクトロニクス材料として注目されている有機半導体は,超高純度試料を得ることが難しいという技術的な大きな課題を抱えている。本研究は,(i)アルキメデスポンプ型ゾーン精製法と(ii)2次元拡散型昇華精製法という2つの新しい超高純度精製手法の開発を試みる。H19年度は,まず基本となる従来型の精製装置の作成を行い,ノウハウを蓄積しながら,新しい精製装置の設計を進めた。現在,具体的な装置の作成を進めている。
|