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2008 年度 実績報告書

熱電材料ナノワイヤーアレイの合成と評価

研究課題

研究課題/領域番号 19656008
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

種村 眞幸  名古屋工業大学, 工学研究科, 教授 (30236715)

キーワードナノエネルギー材 / 熱電材料 / ナノ材料 / ナノワイヤー / イオン衝撃 / ケイ素(Si) / ゲルマニウム(Ge) / ナノ構造
研究概要

化石燃料に頼るエネルギー供給は今や転換期を迎えており、次世代を担うクリーンエネルギーの創出は焦眉の急である。本研究は、ナノ熱電材料の新たな低温合成法の確立を目指し企画された。固体表面に低速イオンを照射し、表面原子をはぎ取るスパッタリングは、一般的には破壊過程として知られる。しかしながら、イオン照射時に、新たな元素を極少量連続的に供給することで、破壊過程に「成長過程」が加味され、ナノ材料合成法、ナノ構造形成法としての利用が可能である。本研究では、このイオン照射法を用い、熱電材料として知られるSi-Ge合金のナノワイヤーアレイ(NWA)を始めとする、種々の1次元NWAを作製する技術を確立し、物性データの蓄積を図る。
1) Si-Ge系ナノワイヤーアレイ(NWA)最適合成条件の確立:まずGeについてNWAの合成を行い、同種元素供給による種々のナノ構造体の低温形成、および、異種元素触媒粒子供給による、短いながらも、針状突起先端へのナノワイヤー(NW)の低温形成が可能であることを実証した。また、形成されるナノ構造体の触媒種依存性についても明らかにすることができた。
2) その他の1次元熱電材料の探索:昨年度得られた超高密度NWAについて、その合成パラメータを最適化すると共に、試料の初期の結晶学的特徴と形成されるNWAのサイズ、密度に関する定量的な知見を得ることができた。
3) 1次元材料特性解析装置の開発:イオン照射法によるカーボンナノファイバー(CNF)探針作製技術を基礎に、熱電対機能付きナノ探針作製の要素技術開発を行い、三角錐状の探針側面に金属コート(3面のうちの1面にコート)された探針先端へのCNF形成を実現し、熱起電力を取り出すための回路形成に道を拓くことができた。

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (9件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Application of ion-induced carbon nanocomposite fibers to magnetic force microscope probes2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Sugita, M. Tanemura, 他
    • 雑誌名

      J. Vacuum Science and Technology B 27

      ページ: 980-983

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth-direction dependence of mechanical properties of carbon nanofiber probes fabricated by ion irradiation method2008

    • 著者名/発表者名
      M. Kitazawa, M. Tanemura, 他
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 47

      ページ: 5127-5131

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-temperature fabrication of Ge nanos truetures by ion irradiation2008

    • 著者名/発表者名
      A. Miyawaki, M. Tanemura, 他
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan 33

      ページ: 1015-1018

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電位分布測定用導電性AFM探針と有機半導体間の接触抵抗評価2008

    • 著者名/発表者名
      坂井祐貴, 種村眞幸, 他
    • 雑誌名

      信学技報 108

      ページ: 43-48

  • [学会発表] イオン照射法によるGe針状ナノ構造の形成2009

    • 著者名/発表者名
      宮脇亜子
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      つくば
    • 年月日
      20090330-20090402
  • [学会発表] Morphological control of ion-induced Ge nanoprotrusions2008

    • 著者名/発表者名
      宮脇亜子
    • 学会等名
      The IUMRS International Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      20081209-20081213
  • [学会発表] Room-temperature fabrication of Zn nanofibers by ion irradiation method2008

    • 著者名/発表者名
      沓名正樹
    • 学会等名
      The IUMRS International Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      20081209-20081213
  • [学会発表] Low-Temperature Fabrication of Ge Nanostructures by Ion Irradiation2008

    • 著者名/発表者名
      宮脇亜子
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience and nanotechnology 2008 (Nano-SciTech 2008)
    • 発表場所
      Shah Alam, Selangor, Malaysia
    • 年月日
      20081118-20081121
  • [学会発表] Sputtering as a method for low-temperature fabrication of nanomaterials2008

    • 著者名/発表者名
      種村眞幸
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference(APMC9)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      20081102-20081107
  • [学会発表] イオン誘起ゲルマニウムナノ構造体の形状制御2008

    • 著者名/発表者名
      宮脇亜子
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛知
    • 年月日
      20080902-20080905
  • [学会発表] イオン照射法によるZnナノファイバイバーの室温形成2008

    • 著者名/発表者名
      沓名正樹
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛知
    • 年月日
      20080902-20080905
  • [学会発表] Low-temperature fabrication and characterization of ion-induced Ge nanostructures2008

    • 著者名/発表者名
      種村眞幸
    • 学会等名
      European Conference on Surface Science (ECOSS 25)
    • 発表場所
      Liverpool, UK
    • 年月日
      20080727-20080801
  • [学会発表] Application of ion-induced carbon nanocomposite fibers to magnetic force microscope probes2008

    • 著者名/発表者名
      種村眞幸
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience +Technology (ICN+T2008)
    • 発表場所
      Colorado, USA
    • 年月日
      20080720-20080725
  • [図書] Carbon Nanotubes : Multifunctional Materials2008

    • 著者名/発表者名
      M. Tanemura, M. Kitazawa, 他
    • 総ページ数
      343
    • 出版者
      Applied Science Innovations Pvt. Ltd., India

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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