2008 年度研究成果報告書

液体状ベータジケトン系有機金属による酸化亜鉛薄膜ホモエピタキシャル成長の研究

研究課題

研究課題/領域番号	19656013
研究種目	萌芽研究
配分区分	補助金
研究分野	薄膜・表面界面物性
研究機関	仙台電波工業高等専門学校
研究代表者	羽賀浩一仙台電波工業高等専門学校, 電子工学科, 教授 (30270200)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	酸化亜鉛 / 薄膜 / ベータジケトン系原料 / エピタキシャル成長 / 酸化亜鉛基板
研究成果の概要	酸化亜鉛(ZnO)薄膜のホモエピタキシャル成長は有機金属気相成長(MO-CVD)法を適用し、そのZn原料としてベータジケトン材料であるZn(C_9H_<15>O_3)_2を使用した。また、堆積基板に使用したZnO表面の平坦性及び清浄化を得るために、高温熱処理及びArイオンエッチングを行った。エピ成長したZnO薄膜は極めて平坦性と結晶性が優れていたが、Zn(C_9H_<15>O_3)_2原料が経時変化しやすく、薄膜物性値の再現性を得ることが非常に難しい結果となった。
自由記述の分野	工学