| 研究概要 |
本研究では,超短パルスレーザー光電界電離による励起・電離を用い,放電キャピラリープラズマをレーザー媒質とし,最終的に卓上型真空紫外(アルゴンエキシマの場合は波長126nm)の発振を実現することを目的としている.本研究では,高強度レーザーにより初めて実現可能となる光電界電離プラズマを希ガス充填した中空ファイバー内にマイクロプラズマとして生成する.希ガスプラズマ内での反応過程は,高強度レーザー誘起のプラズマ密度・温度の初期条件に大きく左右され,高密度・低温の希ガスプラズマは希ガスエキシマ生成には最適な初期条件であることが分かっている.このようなプラズマを効率良く生成するためには光電界電離法は最も適切なプラズマ生成法であると考えている.
レーザー干渉計により電子密度を計測し,10^17cm^<-3>程度のプラズマが生成されることが観測された.中心で低密度になる電子密度分布を生成できた.電子密度計測に加えて,時間分解された電子温度も評価した.このことにより,ダイナミクスを明らかにすることができた.
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