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本研究ではTFTアクティブマトリクス・アレイにマイクロチャネルを積層し、そこにイオン溶解液を導入、TFTアクティブマトリクスを通してマイクロチャネルに電圧印加を行うことによりイオンの分離・輸送を行う。H19年度は基本的技術としてまず一次元マイクロチャネルの作製技術を確立し、イオン輸送・分離を行うための電極マスクパターン設計とマスク作製を行った。マイクロチャネルは基板として石英基板を用い、石英基板上にハードマスクとしてSi薄膜をスパッタ法により成膜し、その後レジスト成膜、マスクアライナによりパターン形成を行い、その後FAB(Fast Atom Beam)法によりSiハードマスクをエッチング、その後BHF(バッファードHF)液により、石英基板のエッチングを行った。また希HF溶液を用いた石英基板同士の常温張り合わせ技術の確立を行った。常温張り合わせはクリーンルーム内ウェットステーションで行われるよう、専用テフロン治具を試作し実施した。これらの作製プロセスを用いて、一次元マイクロチャネルチップの試作を行った。試作後マイクロチャネルチップにシリコンチューブを接続し、電気浸透流ポンプを用いて、チップへの液体導入を行った。流体観察はチップへ蛍光ビーズ(1μm径)を導入し、蛍光顕微鏡で観察することで行った。イオン輸送・分離を行うための電極マスクパターンとしては、流路上に等間隔で電極の配置した単純電極パターンの他、電極間隔に傾斜をつけた櫛型パターンを設計し、電子線露光装置を用いて試作を行った。
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