2008 年度研究成果報告書

スタンピング転写を用いた大面積・機能集積・フレキシブルMEMSデバイス

研究課題

研究課題/領域番号	19681014
研究種目	若手研究(A)
配分区分	補助金
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	岩瀬英治東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教 (70436559)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	MEMS / スタンピング転写 / フレキシブルデバイス
研究概要	スタンピング転写を用いることにより、別々の基板上で製作したMEMS構造をフレキシブルシート上に集積した。これにより、今までフレキシブルシート上には製作が困難であった3次元構造や可動機構をもつMEMSデバイスが実現可能となる。本研究を実現する過程で、スタンピング転写の転写率・転写位置精度、平面ギャップの製作精度の評価を行った。また、実際に3次元構造および可動機構を有する応用的な光MEMSデバイスをPDMSシート上に作成できることを示した。