ホウ化物薄膜のエピタキシャル成長における表面・界面制御

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19686043
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 北陸先端科学技術大学院大学
• 研究代表者: 高村 由起子 (山田 由起子) 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 講師 (90344720)
• 研究協力者: BERA SAMBHUNATH 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 研究員 ; FLEURENCE ANTOINE 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 研究員 ; KHATUA MADHUSMITA 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 研究員 ; 張 文勇 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 研究員
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: MBE / エピタキシャル / 走査プローブ顕微鏡 / 超薄膜

研究概要

薄膜中への酸素や水分の混入を防ぎ、かつ、成長表面のその場観察が可能な気相成長装置を立ち上げ、高融点かつ高電気伝導性を有する二ホウ化ジルコニウムの薄膜をシリコン、サファイア、窒化ガリウム上にエピタキシャル成長した。成長中の表面再構成構造のその場観察から、基板由来の元素が表面反応に大きく寄与していること、また、基板-ホウ化物結晶の界面構造の安定性が薄膜中の結晶の配向を支配していることが明らかとなった。

研究成果

• [雑誌論文] Growth of single-crystalline zirconium diboride thin film on sapphire (2009)
  • 著者名/発表者名: S. Bera, Y. Sumiyoshi, Y. Yamada -Takamura
  • 雑誌名: J. Appl. Phys. 106 ページ: 063531(1-3)
  • 査読あり
• [学会発表] ファビオブソロッティ, アントワーヌフロランス, サンブナスベラ, ライナーフリードライン, 単結晶配向二ホウ化ジルコニウム薄膜表面の構造・電子状態解析 (2010)
  • 著者名/発表者名: 高村(山田)由起子
  • 学会等名: 日本金属学会2010年春期大会
  • 発表場所: つくば
  • 年月日: 2010-03-29
• [学会発表] Surface electronic structure of single-crystalline zirconium diboride thin films (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Yamada-Takamura, F. Bussolotti, A. Fleurence, S. Bera, R. Friedlein
  • 学会等名: American Physical Society March Meeting 2010
  • 発表場所: Portland, Oregon, USA
  • 年月日: 2010-03-19
• [学会発表] Epitaxial diboride thin films for integration with III-nitrides (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Yamada-Takamura
  • 学会等名: JAIST-CNSI Workshop 2010
  • 発表場所: Nomi, Japan
  • 年月日: 2010-01-19
• [学会発表] STM study of facetted crystals in ZrB2 thin films grown on Si(111) (2010)
  • 著者名/発表者名: A. Fleurence, W. Zhang, Y. Yamada -Takamura
  • 学会等名: Symposium on Surface and Nano Science 2010
  • 発表場所: Shizukuishi, Japan
  • 年月日: 2010-01-15
• [学会発表] サンブナスベラ, 二ホウ化物薄膜のエピタキシャル成長 (2009)
  • 著者名/発表者名: 高村(山田)由起子
  • 学会等名: 日本金属学会2009年秋期(第145回)大会
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2009-09-17
• [学会発表] サンブナスベラ, サファイアを基板とした二ホウ化ジルコニウム薄膜のエピタキシャル成長 (2009)
  • 著者名/発表者名: 高村(山田)由起子
  • 学会等名: 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山
  • 年月日: 2009-09-09