レジスト材料のナノサイズゆらぎ制御のための分子ダイナミクスと反応機構の解明

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19710095
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: ナノ材料・ナノバイオサイエンス
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 岡本 一将 大阪大学, 産業科学研究所, 特任助教 (10437353)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: リソグラフィ / レジスト / 電子線

研究概要

半導体加工用に用いられている化学増幅型レジストは、露光源の発展に伴いその最小加工寸法が縮小している。将来の更なる加工寸法の縮小に向けて、放射線を露光源とすることが想定されているが、極微細加工用レジスト材料におけるゆらぎ(ラフネス)の低減は深刻な問題となっている。ラフネスをナノサイズに低減するために、レジスト中にイオン化後生成する、中間活性種の分子レベルのダイナミクスと反応機構を明らかにすることを目的とした。

研究成果

• [雑誌論文] Dynamics of radical cation of poly(4-hydroxystyrene) and its copolymer for extreme ultraviolet and electron beam resists (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Okamoto, M. Tanaka, T. Kozawa, S. Tagawa
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. (in press)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Formation of intramolecular poly(4-hydroxystyrene) dimer radical cation (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Okamoto, T. Kozawa, K. Natsuda, S. Seki, S. Tagawa
  • 雑誌名: J. Phys. Chem. B 112 ページ: 9275-9280
  • 査読あり
• [雑誌論文] Subpicosecond pulse radiolysis in liquid methyl-substituted benzene derivatives (2007)
  • 著者名/発表者名: K. Okamoto, T. Kozawa, A. Saeki, Y. Yoshida, S. Tagawa
  • 雑誌名: Radiat. Phys. Chem. 76 ページ: 818-826
  • 査読あり
• [学会発表] Hole Dynamics in Poly(4-Hydroxystyrene) and its Copolymer (2009)
  • 著者名/発表者名: Kazumasa Okamoto, Masafumi Tanaka, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa
  • 学会等名: The 12th SANKEN International Symposium
  • 発表場所: Osaka Univ.
  • 年月日: 2009-01-22
• [学会発表] Dynamics of Radical Cation of Poly (4-Hydroxystyrene) and its Copolymer (2008)
  • 著者名/発表者名: Kazumasa Okamoto, Masafumi Tanaka, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa
  • 学会等名: 21st International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: Fukuoka, Japan
  • 年月日: 20081027-30
• [学会発表] Dynamics of Radical Cations of Resist Model Compounds (2008)
  • 著者名/発表者名: Kazumasa Okamoto, Masafumi Tanaka, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa
  • 学会等名: 2nd Asia-Pacific Symposium on Radiation Chemistry
  • 発表場所: Waseda University
  • 年月日: 20080829-0901
• [学会発表] ポリ(4-メトキシスチレン)のパルスラジオリシス-ダイマーラジカルカチオン生成の置換基依存性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 田中将史, 岡本一将, 古澤孝弘, 田川精一
  • 学会等名: 第51回放射線化学討論会
  • 発表場所: 産総研
  • 年月日: 2008-10-17
• [学会発表] 化学増幅型レジストベースポリマーのラジカルカチオンのダイナミクス (2008)
  • 著者名/発表者名: 岡本一将, 田中将史, 古澤孝弘, 田川精一
  • 学会等名: 2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] Dynamics of PHS Radical Cation (2008)
  • 著者名/発表者名: Kasumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography 2008
  • 発表場所: San Jose, CA, USA
  • 年月日: 2008-02-25
• [学会発表] ポリスチレン誘導体のパルスラジオリシス法を用いたラジカルカチオンのダイナミクスの研究 (2007)
  • 著者名/発表者名: 田中将史, 岡本一将, 古澤孝弘, 関修平, 田川精一
  • 学会等名: 第50回放射線化学討論会
  • 発表場所: 京都大学
  • 年月日: 20071011-12
• [学会発表] Pulse Radiolysis of Polystyrene and Derivatives (2007)
  • 著者名/発表者名: Kazumasa Okamoto, Masafumi Tanaka, Shu Seki, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa
  • 学会等名: 13^<th> International Congress of Radiation Research
  • 発表場所: San Francisco USA,
  • 年月日: 2007-07-13
• [学会発表] Study on Dynamics of Radical Ions of Polystyrenes by Pulse Radiolysis (2007)
  • 著者名/発表者名: Kazumasa Okamoto, Masafumi Tanaka, Takahiro Kozawa, Shu Seki, Seiichi Tagawa
  • 学会等名: 13^<th> International Congress of Radiation Research
  • 発表場所: San Francisco USA,
  • 年月日: 2007-07-13