液相リソグラフィー法を基軸とする酸化物ナノテープの革新的構造制御システムの構築

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19710106
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: ナノ材料・ナノバイオサイエンス
• 研究機関: 独立行政法人理化学研究所
• 研究代表者: 藤川 茂紀 独立行政法人理化学研究所, ナノ複合構造研究チーム, チームリーダー (60333332)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 酸化物 / ナノテープ / ナノコーティング / 液相リソグラフィー

研究概要

液相ナノコーティング技術とライン鋳型を利用し、サイズと材料がナノ制御れた酸化物ナノテープの作成プロセス構築を目的とした。液相ナノコーティングとして表面ゾルゲル法を用い、各種酸化物からなるナノテープの形成に成功した。テープ厚は表面ゾルゲルサイクルの回数制御により数nm精度で、またテープ幅は鋳型の鋳型ラインの高さ設定によって制御によって、サブマイクロメートルから100nm程度の範囲内での任意制御に成功した。テープの材料組成は、ゾルゲル前駆体種やコーティングシークエンスの選定によって、多様に設計できることが明らかとした。

研究成果

• [雑誌論文] (2009)
  • 著者名/発表者名: Kubo,Wakana, Fujikawa, Shigenori.
  • 雑誌名: Journal of Materials Chemistry Japan 19(15) ページ: 2154-2158
  • 査読あり
• [雑誌論文] Colloids and Surfaces, A (2008)
  • 著者名/発表者名: Kubo,Wakana, Fujikawa, Shigenori, Kunitake, Toyoki
  • 雑誌名: Physicochemical and Engineering Aspects 321(1-3) ページ: 238-243
  • 査読あり
• [雑誌論文] Colloids and Surfaces, A (2008)
  • 著者名/発表者名: Takaki, Rie, Takemoto, Hiromi, Fujikawa, Shigenori, Toyoki, Kunitake
  • 雑誌名: Physicochemical and Engineering Aspects 321(1-3) ページ: 227-232
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2008)
  • 著者名/発表者名: Miyoshi, Kentaro, Aoki, Yoshitaka, Kunitake, Toyoki, Fujikawa, Shigenori.,
  • 雑誌名: Langmuir 24(8) ページ: 4205-4208
  • 査読あり
• [学会発表] Periodically-aligned arrays of ferromagnetic nanoring and nanofin via electroless plating on macroscopic scale (2008)
  • 著者名/発表者名: Fujikawa Shigenori, Miyoshi Kentaro, Kunitake Toyoki
  • 学会等名: MRS fall meeting 2008
  • 発表場所: Boston (USA)
  • 年月日: 20081200
• [学会発表] Fabrication of nanostructures based on nanocoating and lithography fabrication of gold nanofin arrays embedded in polymer film and its application for flexible, transparent anisotropic conductive film (2008)
  • 著者名/発表者名: Kubo Wakana, Fujikawa Shigenori, Kunitake Toyoki
  • 学会等名: MRS fall meeting 2008
  • 発表場所: Boston (USA)
  • 年月日: 20081200
• [学会発表] ウェットナノコーティングを利用したナノ構造体の作製と機能化 : 金ナノフィン包含透明フィルムの作製と異方的導電性を有するフレキシブル透明導電膜への応用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 久保若奈, 藤川茂紀, 国武豊喜
  • 学会等名: 第57回高分子学会年次会
  • 発表場所: 横浜
  • 年月日: 20080500
• [学会発表] ウェットナノコーティングによる金ナノフィンの作製とフレキシブル透明導電膜への応用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 久保若奈, 藤川茂紀
  • 学会等名: 第55回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 船橋
  • 年月日: 20080300
• [学会発表] Fabrication of Nanostructures Based on Wet-nanocoating Fabrication of Gold Nanowires with Ultrahigh Axis Ratio and Its Application to the Functionalized Conductive Materials (2007)
  • 著者名/発表者名: Kubo Wakana, Fujikawa Shigenori, Kunitake Toyoki
  • 学会等名: 2007 MRS Fall Meeting Symposium
  • 発表場所: Boston (USA)
  • 年月日: 20071100
• [学会発表] ウェットナノコーティングを利用したナノ構造体のデザイン(II) : サブ50mmラインアレイの多重化とピッチ制御 (2007)
  • 著者名/発表者名: 藤川茂紀, 小泉真里, 武本広美, 三好賢太郎, 国武豊喜
  • 学会等名: 第56回高分子討論会
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 20070900
• [学会発表] ウェットナノコーティングを利用したナノ構造体のデザイン(III) : 超高軸比を有する金属ナノテープの作製と機能性導電材料への応用 (2007)
  • 著者名/発表者名: 久保若奈, 三好賢太郎, 藤川茂紀, 国武豊喜
  • 学会等名: 第56回高分子討論会
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 20070900
• [学会発表] ウェットナノコーティングを利用したナノ構造体のデザイン(II) : 無電解めっきとエッチングプロセスを利用した金属ナノ構造体の作製 (2007)
  • 著者名/発表者名: 三好賢太郎, 久保若奈, 藤川茂紀, 国武豊喜
  • 学会等名: 第56回高分子討論会
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 20070900
• [学会発表] Fabrication of metal oxide nanotapes by wet-nanocoating process (2007)
  • 著者名/発表者名: Fujikawa Shigenori, Takaki Rie, Kunitake Toyoki
  • 学会等名: 12th IUPAC International Symposium on MacroMolecular Complexes (MMC-12)
  • 発表場所: 福岡
  • 年月日: 20070800
• [学会発表] Fabrication of metal nanoline array by electroless plating (2007)
  • 著者名/発表者名: Miyoshi Kentaro, Fujikawa Shigenori, Kunitake Toyoki
  • 学会等名: 12th IUPAC International Symposium on MacroMolecular Complexes (MMC-12)
  • 発表場所: 福岡
  • 年月日: 20070800
• [学会発表] Fabrication of Metal Oxide Nanotapes using a Wet-nanocoating Process (2007)
  • 著者名/発表者名: Fujikawa Shigenori,Takaki Rie, Takemoto Hiromi, Kunitake Toyoki
  • 学会等名: 12th International Conference on Organized Molecular Films (LB12)
  • 発表場所: Krakow (Poland)
  • 年月日: 20070700
• [学会発表] Fabrication of Noble Metal Nanoline Arrays using Electroless Plating (2007)
  • 著者名/発表者名: Miyoshi Kentaro, Fujikawa Shigenori, Kunitake Toyoki
  • 学会等名: 12th International Conference on Organized Molecular Films (LB12)
  • 発表場所: Krakow (Poland)
  • 年月日: 20070700
• [学会発表] ウェットナノコーティングを利用したナノ構造体のデザイン(I) : シリカ・ポリマーコンポジットからなるナノテープの作製 (2007)
  • 著者名/発表者名: 藤川茂紀, 武本広美, 高木梨恵, 国武豊喜
  • 学会等名: 第56回高分子学会年次大会
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 20070500
• [学会発表] ウェットナノコーティングを利用したナノ構造体のデザイン(II) : シリカナノシリンダーの作成とその自己集積による超構造の形成 (2007)
  • 著者名/発表者名: 高木梨恵, 藤川茂紀, 国武豊喜
  • 学会等名: 第56回高分子学会年次大会
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 20070500
• [学会発表] ウェットナノコーティングを利用したナノ構造体のデザイン(III) : 無電解めっきを利用した金属ナノテープの作製とその形状デザイン (2007)
  • 著者名/発表者名: 三好賢太郎, 藤川茂紀, 国武豊喜
  • 学会等名: 第56回高分子学会年次大会
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 20070500
• [産業財産権] 構造体およびその製造方法 (2009)
  • 発明者名: 藤川茂紀, 国武豊喜, 武本広美, 小泉真里, 羽田英夫, 古谷早苗
  • 権利者名: 独立行政法人理化学研究所・東京応化工業株式会社
  • 産業財産権番号: 公開特許公報(A)特許公開2009-56576
  • 出願年月日: 2009-03-19
• [産業財産権] 構造体の製造方法、構造体 (2008)
  • 発明者名: 三好賢太郎, 藤川茂紀, 国武豊喜, 久保若奈, 羽田英夫, 松丸省吾, 古谷早苗
  • 権利者名: 独立行政法人理化学研究所・東京応化工業株式会社
  • 産業財産権番号: 公開特許公報(A)特許公開2008-156745
  • 出願年月日: 2008-07-10
• [産業財産権] 構造体およびその製造方法 (2008)
  • 発明者名: 三好賢太郎, 藤川茂紀, 国武豊喜, 羽田英夫, 松丸省吾, 古谷早苗
  • 権利者名: :独立行政法人理化学研究所・東京応化工業株式会社
  • 産業財産権番号: 公開特許公報(A)特許公開2008-15535
  • 出願年月日: 2008-07-10
• [産業財産権] 異方性フィルムおよび異方性フィルムの製造方法 (2007)
  • 発明者名: 藤川茂紀, 久保若奈, 国武豊喜, 羽田英夫, 古谷早苗
  • 権利者名: 独立行政法人理化学研究所・東京応化工業株式会社
  • 産業財産権番号: 公開特許公報(A)特許公開2009-57518
  • 出願年月日: 2007-09-03