バリアメタルの陽極酸化過程を用いた位置制御室温動作単電子トランジスタの作製

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19710118
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: マイクロ・ナノデバイス
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 木村 康男 東北大学, 電気通信研究所, 助教 (40312673)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 単電子 / 自己組織化 / 陽極酸化 / ナノチューブ / ナノドット

研究概要

アルミニウム細線の陽極酸化過程に及ぼす細線の断面構造の影響を調べた。その結果、アルミニウム細線のアスペクト比が陽極酸化過程に大きな影響を与えており、そのアスペクト比によって陽極酸化過程を制御することが可能であることがわかった。また、その制御された陽極酸化過程を利用して単電子トランジスタを作製し、それが室温で動作することを確かめた。本研究で提案するハイブリッドプロセスは室温動作可能なSETを作製するための有力なプロセスであることを強く示唆している。

研究成果

• [雑誌論文] An extensively valid and stable method for derivation of all parameters of a solar cell from a single current voltage characteristic (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Ishibashi, Y. Kimura, and M. Niwano
  • 雑誌名: J. Appl. Phys 103 ページ: 094507-1-094507-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Titanium Oxide Nanotubes by Rapid and Homogeneous Anodization in a Mixture of Perchloric Acid and Ethanol (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Ishibashi, R. Yamaguchi, Y. Kimura and M. Niwano
  • 雑誌名: J. Electrochem. Soc 155 ページ: K10-K14
  • 査読あり
• [雑誌論文] 陽極酸化により作製したアルミニウムナノドットからのクーロン階段の室温観測 (2007)
  • 著者名/発表者名: 木村康男、庭野道夫
  • 雑誌名: 電子情報通信学会信学技報 107 ページ: 15-19
• [学会発表] The Formation Mechanism of Aluminum Nanodots by Inhomogeneous Anodization as a Self-Alignment Technique for a Room-Temperature Operating Single - Electron Transistor (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Muto, Y. Kimura, and M. Niwano
  • 学会等名: The 5th International Symposium on Surface Science and Nanotechnology
  • 発表場所: Waseda, Japan
  • 年月日: 2008-11-11
• [学会発表] Monte Carlo Simulation of Porous Silicon Formation (2008)
  • 著者名/発表者名: N. Shimakura, Y. Kimura, and M. Niwano
  • 学会等名: The 5th International Symposium on Surface Science and Nanotechnology
  • 発表場所: Waseda, Japan
  • 年月日: 2008-11-10
• [学会発表] In-Situ Infrared Spectroscopic Study of Electrochemical Etching Processes at Si Surfaces (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Kimura, and M. Niwano
  • 学会等名: Pacific rim meeting on electrochemical and solid state science, 214th ECS meeting
  • 発表場所: Honolulu, USA
  • 年月日: 2008-10-14
• [学会発表] Inhomogeneous anodization of aluminum for nanofabrication (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Kimura, T. Muto, N. Shimakura, and M. Niwano
  • 学会等名: Pacific rim meeting on electrochemical and solid state science, 214th ECS meeting
  • 発表場所: Honolulu, USA
  • 年月日: 2008-10-14
• [学会発表] In situ observation of electrochemical etching process using infrared spectroscopy and its Monte Carlo etching simulation (2008)
  • 著者名/発表者名: N. Shimakura,, Y. Kimura, and M. Niwano
  • 学会等名: Pacific rim meeting on electrochemical and solid state science, 214th ECS meeting
  • 発表場所: Honolulu, USA
  • 年月日: 2008-10-14
• [学会発表] Fabrication of titanium oxide nanotubes through anodization of titanium in a mixture of perchloric acid and ethanol (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Kimura, K. Ishibashi, M. Niwano
  • 学会等名: The 4th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology(CGCT-4)
  • 発表場所: Sendai, Japan
  • 年月日: 2008-05-24
• [学会発表] An extensively valid and stable method for determination of all parameters of a solar cell from a single I-V characteristic (2008)
  • 著者名/発表者名: Yasuo Kimura, Ken-ichi Ishibashi, and Michio Niwano
  • 学会等名: 213th ECS Meeting
  • 発表場所: Phoenix, USA
  • 年月日: 2008-05-20
• [学会発表] Anodization process of aluminum microelectrode for a single-electron transistor operating at room temperature (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Muto, Y. Kimura, M. Niwano
  • 学会等名: 66th Device Research Conference
  • 発表場所: Santa Barbara
  • 年月日: 2008-01-26
• [学会発表] Selforganization of Nanodots and Nanogaps by Anodization and Room-temperature Observation of a Giant Coulomb Blockade Voltage (2007)
  • 著者名/発表者名: Y. Kimura, T. Muto, R. Yamaguchi, K. Ishibashi, K. Itaya, M. Niwano
  • 学会等名: 2007 MRS Fall Meeting
  • 発表場所: Boston, USA
  • 年月日: 2007-11-28
• [学会発表] 陽極酸化により作製したアルミニウムナノドットからのクーロン階段の室温観測 (2007)
  • 著者名/発表者名: 木村康男、庭野道夫
  • 学会等名: 電子情報通信学会研究会電子部品・材料研究会(CPM8)
  • 発表場所: 米沢
  • 年月日: 2007-08-09
• [学会発表] Fabrication of anodic titanium nanotubes with high growth rate and their application to a dye-sensitized solar cell (2007)
  • 著者名/発表者名: K. Ishibashi, T. Mutoh,R. Yamaguchi Y. Kimura and M. Niwano
  • 学会等名: 211th ECS Meeting
  • 発表場所: Chicago, USA
  • 年月日: 2007-05-07
• [学会発表] Room-temperature observation of Coulomb staircases in aluminum nanodots fabricated by anodization of an aluminum microelectrode (2007)
  • 著者名/発表者名: Y. Kimura, K. Itoh, T. Mutoh, R. Yamaguchi, K. Ishibashi, A. Hirano, K. Itaya, and M. Niwano
  • 学会等名: International Conference on Nanoscience and Technology (ChinaNano2007)
  • 発表場所: Beijing, China
  • 年月日: 2007-01-07
• [産業財産権] 評価方法、評価装置、評価プログラム、太陽電池解析評価方法 (2008)
  • 発明者名: 木村康男、庭野道夫、石橋健一
  • 権利者名: 東北大学
  • 産業財産権番号: 特許, 特願2008-5559
  • 出願年月日: 2008-01-15