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2007 年度 実績報告書

化学活性種の高精度供給による単層カーボンナノチューブの金属/半導体特性選択成長

研究課題

研究課題/領域番号 19740339
研究機関北海道大学

研究代表者

須田 善行  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 助教 (70301942)

キーワード単層カーボンナノチューブ / カイラリティ / 化学気相堆積 / エッチング / 二酸化炭素 / ラマン分光
研究概要

当該研究課題の実現のため初年度は、まずF_2やO_2よりも弱い酸化剤であるCO_2ガスを用いて単層カーボンナノチューブ(SWCNT)成長に与える影響を調べた。SWCNTの原料であるCH_4ガス(流量75sccm)に対して、Arガスにより濃度0.1%まで希釈したCO_2ガスを流量1-10sccmにて流し、FeMoMgOまたはNiMoMgO触媒からSWCNTを成長させた。CO_2(/Ar)流量を増加することでSWCNTの結晶性は徐々に低下するものの、直径の細いSWCNTが成長しなくなることをラマン分光により確認した。この実験においてはFeMoMgOとNiMoMgO触媒との間に違いはほとんど見られなかった。次いで、CO_2がSWCNTそのものか触媒に対して作用するのかを調べるため、CO_2の導入タイミングを(1)H_2ガスによる還元終了後でCH_4導入前、(2)CH_4導入の終了後、(3)CH_4導入が終了して冷却後、の3つに分けて実験を行った。その結果、FeMoMgO触媒では純CH_4成長時に比べてあまり変化はなかったものの、NiMoMgO触媒から成長したSWCNTは(1)の場合のみSWCNTの収率ならびに結晶性が大きく低下した。このことから、CO_2はSWCNT成長前の触媒表面に作用を及ぼし、新たなSWCNTの成長を抑制している可能性が考えられる。熱重量分析装置を用いて、大気圧下CO_2(/Ar)ガス雰囲気にてSWCNTサンプルを処理したところ、800℃まで重量損失がほとんどなく、1400℃まで加熱してもほとんどのSWCNTが存在していた。このようにCO_2の酸化力は非常に弱いものの、触媒に対してはSWCNT直径の選択性をもたらす効果を確認できた。

  • 研究成果

    (60件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (52件)

  • [雑誌論文] Is the Diameter or Chirality Distribution of Single-Walled Carbon Nanotubes Selected in the Synthesis Process?2008

    • 著者名/発表者名
      Krishnendu Bhattacharyya, 須田善行, 沖田篤士, 齊藤武, 尾関充史, 前川将之, 高山純一, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotech. (採択済)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dual distributions for the metallic and semiconducting single-walled carbon nanotubes observed by Raman spectroscopy2008

    • 著者名/発表者名
      Krishnendu Bhattacharyya, 須田善行, 沖田篤士, 齊藤武, 尾関充史, 前川将之, 高山純一, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      Carbon-Science and Technology 1

      ページ: 4-8

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Numerical Analysis of Pressure Dependence on Carbon Nanotube Growth in CH_4/H_2 Plasmas2008

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀, 須田善行, 沖田篤士
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (採択済)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Production of Nitrogen-Containing Carbon Plasma Using Shunting Arc Discharge for Carbon Nitride Films Preparation2008

    • 著者名/発表者名
      高木浩一, 今西圭吾, 村上貴之, 向川政治, 藤原民也, 須田善行, 行村建
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A-Applications and Materials Science 205

      ページ: 971-975

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth Promotion and Etching of Carbon Nanotubes by Carbon Dioxide in Chemical Vapor Deposition using Methane Gas2008

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 高山純一, 齊藤武, 沖田篤士, 中村潤児, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 雑誌名

      Materials Research Society Proceedings (採択済)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of Hydrogen on Carbon Nanotube Formation in CH_4/H_2 Plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      沖田篤士, 須田善行, 小田昭紀, 中村潤児, 尾関充史, Krishnendu Bhattacharyya, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 雑誌名

      Carbon 45

      ページ: 1518-1526

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hydrogen Sensing Response of Carbon-Nanotube Thin-Film Sensor with Pd Comblike Electrodes2007

    • 著者名/発表者名
      早川祐希, 須田善行, 菅原広剛, 酒井洋輔, 橋詰保
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      ページ: L362-L364

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical Characteristics and Zirconia Film Preparation by a Zirconium-Oxygen Plasma using a Positively Biased Electrode2007

    • 著者名/発表者名
      行村建, 明石周平, 須田善行, Xinxin Ma, 池畑隆
    • 雑誌名

      Plasma Process. Polym. 4

      ページ: S647-S650

    • 査読あり
  • [学会発表] 二酸化炭素添加によるカーボンナノチューブ直径に及ぼす影響2008

    • 著者名/発表者名
      高山純一, 須田善行, 沖田篤士, 中村潤児, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会, 29p-J-8
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      20080327-30
  • [学会発表] 流体モデルによるCF_4 RFプラズマの構造解析(2)-衝撃電界重畳法によるCF_4解離の促進-2008

    • 著者名/発表者名
      江口礼良, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会, 1-202
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      20080319-21
  • [学会発表] CH_4プラズマ中のC_xH_y蓄積によるイオン・ラジカル生成への影響2008

    • 著者名/発表者名
      日詰洋平, 沖田篤士, 小田昭紀, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会, 1-203
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      20080319-21
  • [学会発表] CHF_3プラズマの解析(2)-電子輸送係数RF周期応答の圧力依存性-2008

    • 著者名/発表者名
      齊藤隆典, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会, 1-204
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      20080319-21
  • [学会発表] C_8F_18プラズマCVDによるa-C:F膜の異種構造積層堆積2008

    • 著者名/発表者名
      水野巧一朗, 小池広恵, 山内達也, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会, 1-208
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      20080319-21
  • [学会発表] 封じきりC_8F_18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の間欠堆積2008

    • 著者名/発表者名
      山内達也, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 小池広恵
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会, 2-093
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      20080319-21
  • [学会発表] Selective Growth of Carbon Nanotubes by Chemical Vapor Deposition using CH_4/CO_2 Mixture Gas2008

    • 著者名/発表者名
      高山純一, 須田善行, 沖田篤士, 中村潤児, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      International Carbon nanotube conference in NU, GP-5
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya, Japan
    • 年月日
      20080214-15
  • [学会発表] Investigation of carbon nanotube precursors in CH_4/H_2 plasma2008

    • 著者名/発表者名
      沖田篤士, 須田善行, 高山純一, 小田昭紀, 中村潤児, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      International Carbon nanotube conference in NU, GP-6
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya, Japan
    • 年月日
      20080214-15
  • [学会発表] プラズマ支援化学気相堆積におけるカーボンナノチューブ成長初期過程の調査2008

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 沖田篤士, 小田昭紀, 中村潤児, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 学会等名
      第25回プラズマプロセシング研究会, A3-02
    • 発表場所
      山口県教育会館/ゆ〜あいプラザ
    • 年月日
      20080123-25
  • [学会発表] モンテカルロシミュレーションによる直流および高周波交流電界下低気圧CF_4中電子輸送係数の解析2008

    • 著者名/発表者名
      宮本敦史, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      第43回応用物理学会北海道支部/第4回日本光学会北海道支部合同学術講演会, B-6
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      20080110-11
  • [学会発表] 触媒表面処理と炭酸ガス添加がカーボンナノチューブ成長に与える影響2008

    • 著者名/発表者名
      高山純一, 須田善行, 沖田篤士, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      第43回応用物理学会北海道支部/第4回日本光学会北海道支部合同学術講演会, A-19
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      20080110-11
  • [学会発表] 低気圧下衝撃電界電子加速によるCF_4解離反応促進のモンテカルロシミュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣, 江口礼良, 森直樹, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 学会等名
      電気学会放電研究会, ED-08-37
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2008-03-10
  • [学会発表] モンテカルロシミュレーションによる高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布周期変化の圧力依存性解析2008

    • 著者名/発表者名
      森直樹, 菅原広剛, 荒木田大嗣, 江口礼良, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      電気学会放電研究会, ED-08-38
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2008-03-10
  • [学会発表] アルコールを用いたプラズマ支援化学気相堆積法によるカーボンナノチューブ生成2008

    • 著者名/発表者名
      沖田篤士, 須田善行, 小田昭紀, 中村潤児, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      電気学会放電研究会, ED-08-44
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2008-03-10
  • [学会発表] 炭化水素プラズマによるカーボンナノチューブ生成とそのプラズマ解析2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 沖田篤士, 小田昭紀, 中村潤児, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会, PST-07-82
    • 発表場所
      同志社大学
    • 年月日
      20071221-22
  • [学会発表] Synthesis of Y-Junction Carbon Nanotubes by Alcohol Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      前川将之, 須田善行, 沖田篤士, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      2007 MRS Fall Meeting, II5.28
    • 発表場所
      Hynes Convention Center and Sheraton Boston Hotel, Boston, MA, USA
    • 年月日
      20071126-30
  • [学会発表] Investigation of Catalyst Reduction and Etching of Carbon Nanotubes Caused by Hydrogen During Carbon Nanotube Growth in CH_4/H_2 Plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      沖田篤士, 須田善行, 小田昭紀, 中村潤児, 日詰洋平, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      2007 MRS Fall Meeting, II5.10
    • 発表場所
      Hynes Convention Center and Sheraton Boston Hotel, Boston, MA, USA
    • 年月日
      20071126-30
  • [学会発表] Growth Promotion and Etching of Carbon Nanotubes by Carbon Dioxide in Chemical Vapor Deposition using Methane Gas2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 齊藤武, 沖田篤士, 高山純一, 中村潤児, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 学会等名
      2007 MRS Fall Meeting, II5.15
    • 発表場所
      Hynes Convention Center and Sheraton Boston Hotel, Boston, MA, USA
    • 年月日
      20071126-30
  • [学会発表] Composition of Two-Layered Amorphous Fluorocarbon Fims by Perfluorooctane Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也, 小池広恵, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      2007 Japan-Korea Joint Symposium on Electrical Discharge and High Voltage Engineering, 16P-26
    • 発表場所
      Shibaura Institute of Technology, Tokyo, Japan
    • 年月日
      20071115-17
  • [学会発表] Evaluation of Ion and Radical Fluxes in CH_4/H_2 Plasma for CNT Growth2007

    • 著者名/発表者名
      日詰洋平, 沖田篤士, 小田昭紀, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      2007 Japan-Korea Joint Symposium on Electrical Discharge and High Voltage Engineering, 16P-25
    • 発表場所
      Shibaura Institute of Technology, Tokyo, Japan
    • 年月日
      20071115-17
  • [学会発表] Role of Methane and Hydrogen Gases in Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Carbon Nanotubes2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 沖田篤士, 小田昭紀, 中村潤児, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 学会等名
      2007 Japan-Korea Joint Symposium on Electrical Discharge and High Voltage Engineering, 16B-p4
    • 発表場所
      Shibaura Institute of Technology, Tokyo, Japan
    • 年月日
      20071115-17
  • [学会発表] CHF_3プラズマの解析 -電子輸送係数の算出-2007

    • 著者名/発表者名
      齊藤隆典, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.101
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] 流体モデルによるCF_4RFプラズマの構造解析 -バルクにおける電界の応答特性-2007

    • 著者名/発表者名
      江口礼良, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.98
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] CF_4分子, CF_Xラジカルの分解に適した電子加速2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣, 江口礼良, 森 直樹, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.97
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] モンテカルロ法によるCF_4RFプラズマの構造解析2007

    • 著者名/発表者名
      森 直樹, 菅原広剛, 江口礼良, 荒木田大嗣, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.99
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] CH_4/H_2プラズマ中のCNT成長に影響する種の検討2007

    • 著者名/発表者名
      日詰洋平, 沖田篤士, 小田昭紀, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.91
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] C_8F_18プラズマCVDによる二層非晶質フッ化炭素膜の作成2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 小池広恵
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.104
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] C_8F_18プラズマCVDにおける発光スペクトルとa-C:F膜の化学結合状態の関連2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 山内達也
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.92
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] カーボンナノチューブの成長における触媒の酸化処理温度の影響2007

    • 著者名/発表者名
      高山純一, 須田善行, 沖田篤士, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.102
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] アルコール化学気相堆積法による分岐カーボンナノチューブの生成(4)-成長温度による影響-2007

    • 著者名/発表者名
      前川将之, 須田善行, 沖田篤士, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.103
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] CH_4/H_2プラズマCVDによるカーボンナノチューブ成長初期過程の調査2007

    • 著者名/発表者名
      沖田篤士, 須田善行, 小田昭紀, 前川将之, 高山純一, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会, No.90
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20071027-28
  • [学会発表] Growth Promotion and Etching of Carbon Nanotubes by CO_2 in Chemical Vapor Deposition using CH_4 Gas2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 齊藤武, 沖田篤士, 高山純一, 中村潤児, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 学会等名
      AVS 54th International Symposium & Exhibition, NS-ThM7
    • 発表場所
      Washington State Convention Center, Seattle, WA, USA
    • 年月日
      20071014-19
  • [学会発表] 衝撃電界電子加速によるCF_4分子,CF_Xラジカル分解の効率2007

    • 著者名/発表者名
      荒木田大嗣, 江口礼良, 森直樹, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 学会等名
      電気学会放電・プラズマ合同研究会, ED-07-128, PST-07-48
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      20070913-14
  • [学会発表] モンテカルロ法による高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布の特性解析2007

    • 著者名/発表者名
      森直樹, 菅原広剛, 荒木田大嗣, 江口礼良, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      電気学会放電・プラズマ合同研究会, ED-07-129, PST-07-49
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      20070913-14
  • [学会発表] C_8F_l8プラズマCVDによるa-C:F膜生成とその特性の評価2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行, 山内達也
    • 学会等名
      電気学会放電・プラズマ合同研究会, ED-07-134, PST-07-54
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      20070913-14
  • [学会発表] 流体モデルによるナノチューブ成長用プラズマの数値シミュレーション2007

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀, 沖田篤士, 須田善行
    • 学会等名
      電気学会放電・プラズマ合同研究会, ED-07-131, PST-07-51
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      20070913-14
  • [学会発表] アルコール触媒化学気相堆積法によるカーボンナノチューブ成長におけるCo/Mo触媒条件の依存性2007

    • 著者名/発表者名
      前川将之, 須田善行, 沖田篤士, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      電気学会放電・プラズマ合同研究会, ED-07-132, PST-07-52
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      20070913-14
  • [学会発表] プラズマ化学気相堆積による単層カーボンナノチューブ合成におけるAl_2O_3支持材料の効果2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 尾関充史, 沖田篤士, 齊藤武, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 学会等名
      放電学会若手セミナー, P-21
    • 発表場所
      登別グランドホテル
    • 年月日
      20070912-13
  • [学会発表] ナノチューブ創製用CH_4/H_2混合RFプラズマのシミュレーション-ガス流量の効果-2007

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀, 沖田篤士, 須田善行
    • 学会等名
      平成19年秋季第68回応用物理学会学術講演会, 7p-ZQ-8
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      20070904-08
  • [学会発表] Production of Nitrogen-Containing Carbon Plasma using Shunting Arc Discharge for Carbon Nitride Films Preparation2007

    • 著者名/発表者名
      高木浩一, 今西圭吾, 村上貴之, 向川政治, 藤原民也, 須田善行, 行村建
    • 学会等名
      9th International Workshop Plasma-Based Ion Implantation & Deposition, O-1-2
    • 発表場所
      Leipziger KUBUS, Leipzig, Germany
    • 年月日
      20070902-06
  • [学会発表] Deposition of Amorphous Fluorocarbon Films by C_8F_18/Ar Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition and Their Chemical Properties2007

    • 著者名/発表者名
      小池広恵, 山内達也, 酒井洋輔, 菅原広剛, 須田善行
    • 学会等名
      18th International Symposium on Plasma Chemistry, 27P-68
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto, Japan
    • 年月日
      20070826-31
  • [学会発表] Effects of Hydrogen Supply on Growth of Carbon Nanotubes in CH_4/H_2 Plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      沖田篤士, 須田善行, 小田昭紀, 中村潤児, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      18th International Symposium on Plasma Chemistry, 27B-p2
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto, Japan
    • 年月日
      20070826-31
  • [学会発表] Effect of Thickness of Aluminum Oxide Underlayer on Single-Walled Carbon Nanotube Growth using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 尾関充史, 沖田篤士, 齊藤武, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 学会等名
      18th International Symposium on Plasma Chemistry, 28P-154
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto, Japan
    • 年月日
      20070826-31
  • [学会発表] Observation of Surface and Cross Section of Amorphous Fluorocarbon Films Composed by Perfluoro-Octane Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      山内達也, 小池広恵, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), 2P13-34
    • 発表場所
      The Top Hotel Praha, Prague, Czech Republic
    • 年月日
      20070715-20
  • [学会発表] Effect of Methane/Hydrogen Mixture Gases on Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Carbon Nanotubes Growth2007

    • 著者名/発表者名
      沖田篤士, 須田善行, 小田昭紀, 中村潤児, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), 2P13-20
    • 発表場所
      The Top Hotel Praha, Prague, Czech Republic
    • 年月日
      20070715-20
  • [学会発表] アルコール化学気相堆積法による分岐カーボンナノチューブの生成(3)-Co/Moモル比によるCNT成長の違い-2007

    • 著者名/発表者名
      前川将之, 須田善行, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      第33回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム, 2P-33
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      20070711-13
  • [学会発表] Investigation of Incubation Time for Carbon Nanotube Growth by CH_4/H_2 Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      沖田篤士, 須田善行, 小田昭紀, 中村潤児, 菅原広剛, 酒井洋輔
    • 学会等名
      Eighth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT07), A24
    • 発表場所
      The Parque Metalurgico, Ouro Preto, Brazil
    • 年月日
      20070624-29
  • [学会発表] Effect of CO_2 Addition on Carbon Nanotube Growth by CVD using CH_42007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 齊藤武, 沖田篤士, 尾関充史, 中村潤児, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 学会等名
      Eighth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT07), A30
    • 発表場所
      The Parque Metalurgico, Ouro Preto, Brazil
    • 年月日
      20070624-29
  • [学会発表] Numerical Simulation of Radio-Frequency Plasmas at Low-Pressure for Carbon Nanotube Growth2007

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀, 沖田篤士, 須田善行
    • 学会等名
      第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 21A-p4
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      20070621-22
  • [学会発表] CF_4 RFプラズマのバルクにおける電界と電子ドリフト速度2007

    • 著者名/発表者名
      江口礼良, 宮本敦史, 菅原広剛, 酒井洋輔, 須田善行
    • 学会等名
      2007年放電学会年次大会, A-1-7
    • 発表場所
      芝浦工業大学
    • 年月日
      2007-11-15
  • [学会発表] CH_4 RFプラズマ中でのC_xH_y生成がCNT成長寄与種に与える影響の評価2007

    • 著者名/発表者名
      日詰洋平, 沖田篤士, 小田昭紀, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔
    • 学会等名
      2007年放電学会年次大会, C-4-6
    • 発表場所
      芝浦工業大学
    • 年月日
      2007-11-15
  • [学会発表] プラズマ支援化学気相堆積によるカーボンナノチューブ成長におけるメタンと水素ガスの役割2007

    • 著者名/発表者名
      須田善行, 沖田篤士, 小田昭紀, 中村潤児, 前川将之, 高山純一, 浅岡典央, 福田祐司, 酒井洋輔, 菅原広剛
    • 学会等名
      2007年放電学会年次大会, D-5-2
    • 発表場所
      芝浦工業大学
    • 年月日
      2007-11-15

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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