研究課題
若手研究(B)
原子間力顕微鏡(AFM)の探針先端から電界蒸発により原子を飛ばし試料表面にパターン描画するAFMリソグラフィー手法をより精度の高い手法として確立した。水晶振動子に取り付けた極細金属ワイヤーを集束イオンビームにより加工してAFM探針とし、非接触法によって探針・試料間距離制御を行うことにより、自然酸化膜付きのSi基板上に線幅20〜30nm程度の金属細線描画や金属ナノドットのパターン形成を行った。
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