2008 年度研究成果報告書

溶液中の大質量陰イオンの負イオンビーム化と二次イオン質量分析(SIMS)への展開

研究課題

研究課題/領域番号	19760029
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	薄膜・表面界面物性
研究機関	独立行政法人産業技術総合研究所
研究代表者	藤原幸雄独立行政法人産業技術総合研究所, 計測フロンティア研究部門, 研究員 (60415742)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	ビーム応用 / 二次イオン質量分析法(SIMS) / クラスタービーム
研究概要	イオン性の化合物を溶液中に溶解し、陰イオンとして存在するイオン種をビーム化する技術に関して研究を実施した。具体的には、イオン性の化合物を有機溶媒中に溶解し、電離状態のイオン種を気相中に取り出すことを試みた。導電性キャピラリー内部に試料溶液を送液し、高電圧を印加した際に気相中に放出されるイオン電流を調べた。結果として、負イオンモードにおいて安定なビーム生成が可能であり、二次イオン質量分析(SIMS)に応用可能であることを確かめることができた。

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