廉価型の高速応力顕微鏡の開発と多積層集積回路の応力評価および故障回避への応用

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760076
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 東京電機大学
• 研究代表者: 五味 健二 東京電機大学, 工学部, 准教授 (60281408)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 材料設計 / プロセス / 物性 / 評価

研究概要

研究代表者は,半導体ウエハの品質評価装置として,新しい微小複屈折測定法を考案し測定装置をほぼ完成させた.品質評価装置の導入は,生産に必要な絶対条件ではないため,品質評価によって得られる利益が十分に大きいか,装置費用を回収出来る見通しが立たねば導入されづらい.しかしCO_2削減のためには品質評価装置を導入し歩留まりを向上させることが必要である.これをふまえ,本研究では導入及び維持費用が高価格になりにくい装置を提案した.

研究成果

• [雑誌論文] 簡単な偏光測定による微小な複屈折分布の評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 五味健二、鈴木智之、一瀬謙輔、新津靖
  • 雑誌名: 数理科学会論文集 第7巻 ページ: 15-20
  • 査読あり
• [雑誌論文] 新しい簡便な複屈折分布測定法 (2007)
  • 著者名/発表者名: 五味健二、一瀬謙輔、鈴木智之
  • 雑誌名: 東京電機大学総合研究所中間報告書2007 第2007巻 ページ: 15-16
• [雑誌論文] 簡便な複屈折測定装置の開発 (2007)
  • 著者名/発表者名: 鈴木智之、五味健二、鈴木隼、一瀬謙輔
  • 雑誌名: 材料試験技術 第52-4巻 ページ: 218-212
  • 査読あり
• [学会発表] RESIDUAL STRESS ESTIMATION IN SIC WAFER USING IR POLARISCOPE(Proc. Of The 3^<rd> International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference and the 10^<th> International Symposium on Electronics Materials and Packaging Joint Conference、pp.550-552) (2008)
  • 著者名/発表者名: Kenji Gomi, Kensuke Ichinose and Yasushi Niitsu
  • 学会等名: Proc. Of The 3^<rd> International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference and the 10^<th> International Symposium on Electronics Materials and Packaging Joint Conference
  • 発表場所: Taiwan
  • 年月日: 2008-10-23
• [学会発表] 偏光測定による微小複屈折分布評価(数理科学会第27回数理科学講演論文集、pp.89-90) (2008)
  • 著者名/発表者名: 五味健二、鈴木智之、一瀬謙輔、新津靖
  • 学会等名: 数理科学会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-08-30
• [学会発表] New simplified measuring method for distributed low-level birefringence(Proc. of 9th International Symposium on Laser Metrology on CD-ROM, edited by Chenggen Quan, Anand Asundi、SPIE Vol. 7155巻、pp.715510-1〜715510-8) (2008)
  • 著者名/発表者名: Kenji Gomi、Tomoyuki Suzuki、Yasushi Niitsu and Kensuke Ichinose
  • 学会等名: Proc. of 9th International Symposium on Laser Metrology on CD-ROM
  • 発表場所: Singapore
  • 年月日: 2008-07-01
• [学会発表] New Simplified Measuring Method for Birefringence Distribution(Proc. Of 9th International Symposium on Electronics Materials and Packaging ISBN : 978-1-4244-1910-4、CD-ROM Version(頁記載無し)) (2007)
  • 著者名/発表者名: Kenji Gomi、Tomoyuki Suzuki、Kensuke Ichinose、Yasushi Niitsu
  • 学会等名: Proc. Of 9th International Symposium on Electronics Materials and Packaging
  • 発表場所: Korea
  • 年月日: 2007-11-21
• [学会発表] 応力顕微鏡の開発(日本実験力学会講演論文集、第7巻、pp.387-390) (2007)
  • 著者名/発表者名: 鈴木智之、五味健二、一瀬謙輔、新津靖
  • 学会等名: 日本実験力学会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2007-08-07
• [学会発表] A New Automated measuring instrument for Minute Photoelasticity(Proc. Of 13th International Conference on Experimental Mechanics(2007)、ISBN : 978-1-4020-6238-4、CD-ROM Version(頁記載無し)) (2007)
  • 著者名/発表者名: Kenji Gomi、Kensuke Ichinose、Yasushi Niitsu
  • 学会等名: Proc. Of 13th International Conference on Experimental Mechanics(2007)
  • 発表場所: Greece
  • 年月日: 2007-07-04
• [備考]
  • URL: http://www.53lab.m.dendai.ac.jp/
• [産業財産権] 複屈折測定装置及び複屈折測定方法 (2007)
  • 発明者名: 五味健二
  • 権利者名: 学校法人東京電機大学
  • 産業財産権番号: 特願, 特願2006-23238
  • 出願年月日: 2007-06-14
• [産業財産権] 複屈折測定装置及び複屈折測定方法 (2007)
  • 発明者名: 五味健二
  • 権利者名: 学校法人東京電機大学
  • 産業財産権番号: PCT, PCT/JP2007/062019
  • 出願年月日: 2007-06-14
  • 外国